第12章 X射线光谱分析法12.5 离子散射能谱法与离子探针.pptVIP

第十二章  X射线光谱和表面分析法 第五节 离子散射能谱与电子探针分析法 12.5.1 概述 表 12.5.2 离子散射能谱法 离子散射能谱 离子散射能谱 仪器 12.5.3 次级离子质谱法 （secondary ion mass spectrography, SIMS) 次级离子质谱的仪器结构 内容选择： 12.5.1 概述 12.5.2 离子散射能谱法 12.5.3 次级离子质谱法 X-ray spectrometry and surface analysis Ion scattering spectrometry and ion-probes 当几百至几兆 eV能量的离子束作用于物质表面时，与光子束和电子束类似，同样发生各种相互作用而给出有关表面的各种分析信号 。 离子散射光谱法（ISS） 次级离子质谱法（SIMS） 离子束的能量不同，将使离子束与物质表面的主要作用方式改变，形成下表中的各种离子探针分析技术。 当小质量的离子(He2+)离子束轰击物质表面时，弹性核-核库仑作用将成为主要的作用方式，从而引起初级离子的弹性大角度散射，图。 测量背散射初级离子能量损失谱可获得物质表面散射原子的质量，即为离子散射光谱法。 由于发生了弹性碰撞，能量和动量守恒，对于给定的散射角? ，在粒子质量和能量之