E8机台115钢线项目试验报告(第二阶段)－精品完整版.docVIP

试验报告 试验名称 115钢线项目试验 试验对象 E8、E9切片机台 试验目的 增加出片率，降低单片硅片制造成本。 试验步骤（第一阶段） 由切片二部从仓库领取直径115um贝卡尔特钢线，使用前分别在E8、E9机台上安装好0.345mm、0.348mm槽距的导轮，同时选择1200#碳化硅； 工艺设置如下：E8、E9机台砂浆循环方式如下：100%旧砂100%旧液，单刀抽全部打450KG； 本次试验采用32工艺切割，试验晶棒长度定在920-950mm； 由研发技术部技术员跟踪每刀距1F尾部15-20mm左右处的硅片和1F位中间位置的硅片，查看是否存在线痕，拍照记录，进行归档； 每卷钢线使用完毕，由研发技术部技术员取每个工字轮的废钢线样品，交由贝卡尔特工程师钱培君，由其负责测量椭圆度、磨损率，记录并收集数据； 由品管安排IPQC跟踪本次试验，如有异常须及时通知研发技术部当班技术员；