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第六章光电轴向定位（调焦）系统 §6-1光切法自动调焦 斜光束自动调焦 原理 狭缝a经过透镜L1成像于物面M上A点，并经过透镜L2成像于像面I上A” 点。 如果物面在Z方向移动?Z到达M’，则像点移动?Z’到达A1”点，如图知： ?Z’=β·AA’=β· （β为L2的放大率） 一般α取450，AA’在焦深范围内（?Z=100μm） 由此实现把轴向瞄准（?Z）变成横向瞄准（?Z’）。 光电探测与信号处理 §6-2光度式自动调焦系统 一．基本原理 二．光路的选用 ①光栏P设于物镜上 ②光栏P设于像方焦点F′上（物方远心光路） ③光栏P设于物方焦点F上（像方远心光路） 调焦正确时ΔI=I3－I2=0，满足要求。 结论：用像方远心光路。 三．Δx ① 物体上升，Δx为正，则Δ3Δ2, J3拦光多， J2拦光少，则 I2-I30; ②正焦时，Δx=0，Δ3=Δ2，J2、J3拦光一样多，I2-I3=0 ; ③物体下降，Δx为负，Δ3Δ2, J3拦光少， J2拦光多，I2-I30 注解： §6-4比相法自动调焦 一．基本原理 1．成像 光源1发出的光经物镜2，变成平行光，经分光镜5、透镜3会聚在物面4，