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中物院电子工程研究所MEMS 实验室部分工艺收费标准
收费标准
项目名称 工序情况 备注
基准费用 额外附加费用
Φ100mm 双抛片 200 元/片
Φ100mm7740 玻璃 350 元/片
材料 视当时市场价格而定
5”铬版 1500 元/片
封装管壳 60 元/套
标准清洗 200 元/批 每批25 片
带金属清洗 200 元/批 每批6 片
SiO2、玻璃BHF 腐蚀 200 元/批 100 元/500nm 每批5 片
清洗腐蚀
KOH 腐蚀 200 元/批 300 元/20μm 每批10 片
金属腐蚀 200 元/片
Lift-off 剥离 200 元/片
正胶（2μm 线宽，对准精度单面2μm 、 单面套刻：100 元/片
300 元/片
双面4μm ） 双面套刻：300 元/片
光刻
湿法去胶（＜2μm ） 300 元/批 25 片/批
等离子体去胶（＜2μm ） 600 元/批 5 片/批
Al 、Ti 等普通金属 10 元/10nm
溅射 100 元/片
Pt 、Au 等稀贵金属 50 元/10nm
ICP （＜20μm ） 500 元/片 100 元/10μm （超出20μm 部分）
刻蚀 RIE （Si N ＜0.2μm 、SiO ＜0.5μm 、
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200 元/片 200 元/0.2μm （超出厚度部分）
Poly-Si ＜0.5μm
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