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 太阳电池工作原理及制造 太阳能电力有限公司 引 言 太阳电池—将太阳光能直接转换为电能的半导 体器件 ● 种类 ● 硅太阳电池 1)?Si太阳电池 1)单晶硅片 2)?GaAs太阳电池 2)多晶硅片 3)?染料敏化电池 3)非晶硅薄膜 4)?Cu2S电池 4)多晶硅薄膜 第一部分 太阳电池制造 ——结构与设计原理 大气层对太阳辐射的影响 大气质量—太阳光线通过大气层的路程对到达地球 表面的太阳辐射的影响 AM0—地球大气层外的太阳辐射 AM1—穿过1个大气层的太阳辐射（太阳入射角为0） AM1.5—太阳入射角为48°的太阳辐射 太阳辐射穿过大气层的情况 太阳电池的制造过程Scrnprt 太阳电池结构 Junction 太阳电池的工作过程 —光生伏特效应 Scell 太阳电池等效电路 串联电阻 并联电阻 边缘漏电 体内杂质和微观缺陷 PN结局部短路 由于杂质和缺陷在电池体内的随机分布，会造成太阳 电池电性能的不均匀性 太阳电池电性能参数 温度对太阳电池的影响 光强对太阳电池的影响 太阳电池的光谱响应ABSDEPTH  —被收集的载流子数与入射光子数之比 太阳电池的设计 结深 电极设计（使电阻损耗和光学损耗最小） 减反射膜的厚度和折射率 太阳电池性能和质量分析 ●短路电流—减反射膜、基区扩散长度、结的质 量、损伤层 ●开路电压—边缘腐蚀不够、PN结不良 ●填充因子—方块电阻、欧姆接触 总结 1、太阳电池—将光能直接转换为电能的半导体器件 2、工作工程—载流子的产生、漂移和经内建电场的 分离 3、电性能参数—短路电流、开路电压、填充因子、转 换效率、串联电阻、并联电阻 第二部分 太阳电池制造 ——制造过程、工艺及卫生 太阳电池制造过程（流程图） 太阳电池制造过程（一） 硅片装盒 超声波清洗 硅片腐蚀去除硅片损伤层（和形成绒面） 硅片甩干 单晶制绒的原理： 硅的各向异性腐蚀，在不同的晶向上的腐蚀速度不一致，在100面上的腐蚀速率与111面上的腐蚀速率R111的比值 R100：R111在一定的弱碱溶液中可以达到500 单晶的各种形貌 单晶原始形貌（500倍） 单晶绒面 （500倍） 多晶的形貌 太阳电池制造过程（二） 磷扩散形成p-n结 等离子体边缘腐蚀 腐蚀表面磷硅玻璃 硅片甩干 磷扩散形成p-n结 PN结——太阳电池的心脏 扩散的目的：形成PN结 扩散装置示意图 等离子体刻蚀原理 等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。 这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。 等离子体边缘腐蚀 等离子体刻蚀反应 腐蚀表面磷硅玻璃 太阳电池制造过程（三） PECVD沉积SiN 利用硅烷（SiH4）与氨气（NH3）在等离子体中反应。 SiH4+NH3 SiNH+3H2 2SiH4+N2 2SiNH+3H2 太阳电池制造过程（四） 印刷背面电极 烘干 印刷铝背场 烘干 印刷正面电极 烧结* 太阳电池制造过程（五） 分类检测 包装入库 电性能测试 太阳电池性能和质量分析 ●短路电流—减反射膜、基区扩散长度、结的质 量、损伤层 ●开路电压—边缘腐蚀不够、PN结不良 ●填充因