20120709- 线痕硅片对电池的影响.ppt

技术中心 张军彦（Allan） 色差线痕硅片对电池外观的影响比较 客户技术服务部申剑波 目录 1. 背景介绍 2. 各客户反馈 3. 关联方电池线验证分析 4. 各电池线差异分析 5. 结论 1. 背景介绍 镇江大全，江苏顺风，广东爱康投诉过色差线痕问题，且此三家客户均表示此类线痕片会导致其司电池片外观降级处理，在客户处测试线痕深度为7～8μm 硅片，做成电池片后仍可见线痕。 2. 各客户反馈 江苏顺风对该类硅片试投了10片，线痕深度在10um以下，客户采用单面制绒深度为5um，从镀膜后的线痕情况看，硅片线痕在电池生产过程中无法被去除，且制绒腐蚀深度已无法再增加，客户对该类线痕色差片在制程中无法去除，导致电池片等级降级表示不满，并表示无法再接受此类线痕片。 镇江大全共投产LDK硅片235878片，其中线痕片20709片，比例高达8.8%，另有312片线痕导致的电池片线痕节点不良。对机检线痕超标的硅片采用LDK带去的表面粗糙度仪进行检验，抽检了8片线痕深度皆≤15um。客户采用单面制绒深度在3.5um，且整线工艺稳定，不再对腐蚀深度进行调整。由此，在腐蚀量较小的情况下，目前LDK线痕标准易造成电池片线痕不良严重，不足以满足客户要求。 广东爱康反馈的色差线痕片与正常硅片颜色相比呈淡白色，手感不明显，测试线痕深度小于10微米，两面硅片都有，穿透硅层，制绒后的颜色仍然为白色，制成电池片后镀膜面有白线。客户制绒工艺的单面腐蚀深度为3-4um之间，且无法通过电池工艺的优化去除线痕，电池片不良表现和顺风反馈情况基本一致，同样爱康对该类硅片表示无法接受。 * 3. 关联方电池线验证分析 对于色差线痕片质量部已经按5μm以下、5～10μm 和10～15μm三种不同程度的色差线痕片样品各30PCS拿至五期，合肥生产，现从五期及合肥的反馈结果来看，色差线痕片对五期，合肥最终的电池片外观无影响。 1 LDK合肥电池线： 30片线痕实验片，要求做成电池成品，看样品外观，结果如下： 备注：每个规格各10片，外观检验是三个品质人员各自检验， 三人检验结果一致，无线痕降级，样品已塑装。 LDK五期电池线： 30片线痕片实验已经完成，经电池生产线品质部在线检验员检片后，确定3批实验片（线痕：0-5um，5-10um，10-15um）均未发现有线痕类不良片 规格 实验结果 0-5μm 无线痕降级 5-10μm 无线痕降级 10-15μm 无线痕降级 4. 各电池线差异分析 制绒腐蚀量 腐蚀深度 的差异, LDK电池腐蚀深度单面为4-4.5微米，腐蚀量少易造成镀膜后线痕依然可见； 2 制绒、去PSG工序对硅片表面有划痕，如滚轮印，镀膜后也能发现?； 3 膜厚从外观上对线痕有轻度影响，LDK膜厚80-86nm，采用双层膜工艺，膜的颜 色较深；? 5. 结论 1 不同电池工艺对色差线痕片的去除 或覆盖 能力不一； 2 不同电池厂家对电池外观判定标准不一，致使对色差线痕片 的接收度不同。 技术中心 张军彦（Allan）