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整理::风淋室||hhttttpp::////wwwwww..ffeenngglliinnjjii..ccoomm// 净化工程||hhttttpp::////wwwwww..iiwwuucchheenn..ccoomm// 空调过滤器||hhttttpp::////wwwwww..ssoonnggffeennggkkoouu..ccoomm//
.1 有限公司
.2 无尘车间管理制度
.3 1.0 无尘车间管理的目的
.4 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、
保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、
生产过程等进行控制。
.5
.6 2.0 无尘车间管理的原则
.7 进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备
的搬入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物
带入洁净室。
.8 操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操
作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽
可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
.9 严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、
设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺
设备和工器具 工装夹具 等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等
级。
.10清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、
周期和检查作明确的规定,防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、
滞留、繁殖。
.11洁净室环境控制的内容包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的
水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪
声、静电的控制、防止等。
.123.0 适用范围
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整理::风淋室||hhttttpp::////wwwwww..ffeenngglliinnjjii..ccoomm// 净化工程||hhttttpp::////wwwwww..iiwwuucchheenn..ccoomm// 空调过滤器||hhttttpp::////wwwwww..ssoonnggffeennggkkoouu..ccoomm//
.13半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间 包括人员净化用室、物料净化
用室和相关生活用室等 、车间内管理区 包括部分办公、值班、管理和体
息室等 和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。
.144.0 术语:无
.155.0 管理程序
.165.1 无尘车间洁净室施工管理制度
5 1 1
.17 . . 背景
.185.1.1.1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循
行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目
的成功,现场的每一位人员都必须遵守。
.195.1.1.2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了
原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。
.205.1.1.3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造
和扩建,后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
.21 5.1.2 责任与义务
.225.1.2.1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序,
并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域
的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。
.235.1.2.2 承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行
检查,并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品
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