Al(Pt) Er2O3 Si结构的FN隧穿.pdfVIP

Al （Pt ）/ Er O / Si 结构的FN 隧穿1 2 3 1，2 2 2 2 2 朱燕艳 ，陈圣 ，方泽波 ，廖灿 ，蒋最敏 1 上海电力学院，上海（200090 ） 2 复旦大学应用表面物理国家重点实验室，上海（200433 ） E-mail ：yyzhu027@163.com 摘 要：对金属/Er O /Si 的FN 隧穿进行了研究。FN 隧穿是MOS 结构在高电场下的一种 2 3 基本的隧穿过程，是在高电场下载流子遂穿过绝缘体的禁带到达其导带或价带的过程。在金 属/Er O /Si 结构中我们发现了FN 的空穴隧穿，通过FN 直线的斜率可以得到空穴的有效质 2 3 量为0.05m 。 关键词：栅介质，高