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4.4 电容式传感器 4.4.1 电容式传感器的工作原理极其特性4.4.2 测量电路 4.4.3 电容传感器的特点及其应用范围 4.4.1 电容式传感器的工作原理极其特性 图4-60 平板电容器原理 图4-60为平板电容器原理图，若忽略其边缘效应，其电容量C为： + + + d A ? d、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 改变极板面积的变面积式； 改变极板距离的变间隙式； 改变介电常数的变介电常数式。 4.4.1.1 变气隙式电容传感器及其特性 图4-60中，设在被测量作用下，动极板向上移动Δd，其电容量增加，电容变化量为： 式中，C0 为初始电容量， 。 在 时，将上式展开成麦克劳林级数： 若动极板向下位移Δd ，同理可得： 由式（4-71）和式（4-72）可见，变气隙式电容传感器的特性是非线性的。若 ，忽略高次方非线性，方可认为其特性是线性的，即： 因此，可得其灵敏度为： 变气隙式传感器的特点是灵敏度高，但非线性严重，通常取 之间。 4.4.1.2 变面积式电容传感器及其特性 角位移变面积型 见图4-61a，当转动动片一个角度θ，遮盖面积发生变化，电容量也随之改变。当θ=0时，其电容量为： 当θ≠0时， 其灵敏度为： 图4-61 变面积式电容传感器 变面积式电容传感器的结构见图4-61。 板状线位移变面积型 见图4-61b，当动板沿箭头所示方向移动x时，传感器的电容量为： 其灵敏度为 筒状线位移变面积型 见图4-61c，当动板圆筒沿轴向移动x时 其灵敏度为： 4.4.1.3 变介电常数式电容传感器及其特性 当电容极板之间的介电常数发生变化时，电容量也随之发生变化，根据这一原理可构成变介电常数式电容式传感器。可用以测量物位，含水量及成分分析等。图4-62为变介电常数式电容液位传感器原理图。 当被测液面在同心圆筒间变化时，传感器电容随之变化，其容量为： 图4-62 电容式液位传感器原理图 4.4.1.4 差动电容传感器及其特性 上述变气隙式、变面积式和变介电常数式三种电容传感器均可制成差动电容传感器。由于变气隙式电容传感器的非线性严重，实际上是很少使用的，通常制成差动型式。由于篇幅所限。仅介绍变气隙式差动传感器及其特性，其结构见图4-63。 差动电容传感器的输出电容变化量 ，得： 图4-63 变气隙式差动电容传感器原理 由上式可见，变气隙式差动电容传感器仅含奇次方的非线性，因此其线性度得到很大程度的改善。 4.4.2 测量电路 电容式传感器的测量电路的种类很多，目前较常用的有电桥电路、调频电路、脉冲调宽电路和运算放大器式电路等。 4.4.2.1 电桥电路 电容式传感器常用交流电桥和变压器电桥作为测量电路。 例4-6 图4-64是电容式自动平衡液位测量仪原理框图，试求指针偏转角θ与液位h的表达式。 图4-64 电容式自动平衡液位测量仪原理框图 解：由图可见，当h=0时，CX=CX0=C0，且电位器RP（阻值RP）的电刷在O点，即R=0，此时电桥应平衡，桥路输出电压Uac=0，则 当液位为h时，CX=CX0+ΔC，ΔC=k1h，k1为电容传感器的灵敏度。此时Uac≠0，经放大后，使单相电动机转动，经减速后带动指针转动，同时带动电位器的电刷移动，直到Uac=0，系统重新平衡为止，此时 联立求解上面两式得： 由于指针转角θ与电位器电刷同轴相连，它们间的关系为： θ=k2R 因此 其中， k2为比例系数 可见，指针偏转转角θ与液位高度h成比例。 4.4.2.2 调频电路 将电容式传感器的电容接入LC高频振荡电路，将电容的变化转换成振荡频率受传感器电容的调制，因此称为调频电路，其工作原理见图4-65。 图4-65 调频电路原理图 4.4.2.3 差动脉冲调宽电路 图4-66 差动脉冲调宽电路 图4-67 差动脉冲调宽电路的输出波形 4.4.2.4 运算放大器电路 图4-68 运算放大器电路 由右式及图4-68可见，输出电压与动极板的位移d成线性关系，从原理上克服了单个变气隙式电容传感器特性的非线性误差问题。需要指出的是，由于增益k≠∞，且输入阻抗Zi≠∞，所以仍然具有一定的非线性误