带重入加工的双臂组合设备的调度.doc

  带重入加工的双臂组合设备的调度# 乔岩，伍乃骐** （广东工业大学机电工程学院，广州 510006） 5 10 15 20 25 30 35 40 摘要：在半导体制造中，对于带重入加工工艺的双臂组合设备的调度非常复杂。例如原子层 沉积（atomic layer deposition, ALD）工艺，晶圆在某些加工模块加工多次。对于这样的加工 工艺，交换(swap)策略可以用来调度双臂组合设备。它是一个 3-晶圆周期性调度方法。然而， 它不是最优的调度方法。为了寻找更好的调度方法，对带重入加工工艺的双臂组合设备建立 了一个 Petri 网模型。基于此模型，通过分析 3-晶圆调度方法的性质，发现减少在一个周期 中生产晶圆的个数能改善系统的生产周期。这样，基于 Petri 网模型，提出了单晶圆调度方 法。 关键词：半导体制造；晶圆加工；Petri 网；重入加工 中图分类号：TP278 Scheduling Dual-Arm Cluster Tools with Wafer Revisiting Qiao Yan, Wu Naiqi (School of Mechatronics Engineering, Guangdong University of Technology, GuangZhou 510006) Abstract: With wafer revisit, it is complicated to schedule cluster tools in semiconductor fabrication. In wafer fabrication processes, such as atomic layer deposition (ALD), the wafers need to visit some process modules for a number of times. The existing swap-based strategy can be used to operate a dual-arm cluster tool for such a process. It results in a 3-wafer cyclic schedule. However, it is not optimal in the sense of cycle time. Thus, to search for a better schedule, a Petri net model is developed for a dual-arm cluster tool with wafer revisit. With it, the properties of the 3-wafer schedule are analyzed. It is found that, to improve the performance, it is necessary to reduce the number of wafers completed in a cycle. Thus, a 1-wafer schedule is developed by using a new swap-based strategy. Keywords: Semiconductor Manufacturing; Wafer Fabrication; Petri Nets; Revisiting 0 引言 在半导体制造业中，组合设备已经被广泛的用来加工晶圆。它是一个集成设备，由几个 加工模块(process modules, PMs)，一个校准器，一个机械手和两个真空所(loadlocks)组成。 机械手从真空所里卸载晶圆，并将其载入到加工模块，待其加工完成后卸载出来，然后通过 机械手将其移动到其他的加工模块进行加工，当它完成所有的工序后，机械手将其载回真空 所。对于带单臂和双臂机械手的组合设备，我们分别叫它们为单臂组合设备和双臂组合设备， 如图 1 所示。 调度一台组合设备时需要同时调度晶圆的加工和运输，这使得此调度问题非常复杂。为 了获得稳态调度，学者已经对组合设备的建模和执行评估做了很多重要的贡献[1-8]。Shin 等 学者提出晶圆的加工是跟随着机械手的活动[9]。这样，调度组合设备的关键就是调度机械手 的活动。对于组合设备，机械手的移动时间被看为常数而且非常短[10]。这样，对于单臂组 合设备，backward 策略是最优的[11-12]。对于双臂组合设备，swap 策略是有效的[1]。 基金项目：教育部高等学校博士学科点专项科研基金(20094420110002) 作者简介：乔岩，（1987-），男，博士研究生，主要研究方向：生产计划、离散事件系统、