交叉指传感器结构参数的正交优化设计.docVIP

  交叉指传感器结构参数的正交优化设计# 张慧凤，黄云志** （合肥工业大学电气与自动化工程学院，合肥，230009） 5 10 15 20 25 摘要：交叉指传感器由于具有单边穿透、信号强度可调以及层析成像等优点，被广泛应用于 工业过程控制中产品物理特性的无损检测。交叉指传感器的灵敏度和穿透深度是影响测量精 确度的重要因素，传感器设计时其波长、电极长度和极对数等结构参数决定了灵敏度和穿透 深度两个性能指标。本文研究正交优化设计方法，选择最优结构参数，提高性能指标。以二 波长交叉指传感器为例，分别设计 2D、3D 模型结构参数，结果表明，该方法可以快速有效 地选择最优结构参数。 关键词：交叉指传感器；结构参数；正交优化 中图分类号：TP212.9 Orthogonal optimization design of structural parameters for interdigital sensor Zhang Huifeng, Huang Yunzhi (School of Electrical Engineering and Automation, Hefei University of Technology,Hefei,230009) Abstract: Interdigital sensors are widely used in nondestructive testing for physical properties of manufactures, with the advantages of one-side access, controllability of signal strength, imaging capability, etc. The sensitivity and penetration depth are the major influential factors of the meas- -urement precision, which are determined by the structural parameters , such as the wavelength, the length of electrodes and numbers. The paper studied the orthogonal optimization design, obtained the optimizing parameters and improved the characteristics. The structure parameters of 2D,3D model for two wavelength is designed. The results show the effectivity and efficiency of the orthogonal optimization. Key words: 0 引言 interdigital sensor; structural parameter; orthogonal optimization  30 35 40  交叉指型传感器属电容传感器，其感应电极和驱动电极位于同一平面，如图 1 所示。电 场沿 z 方向形成近似等势的平面，并且随着距离的增加电场的强度减小；电场沿 y 方向保持 一致，沿 x 方向周期性变化，形成空间波形，波长λ 定义为属于同一电极的两根叉指之间的 中心距离。具有单边穿透、信号强度可调以及层析成像等优点，被广泛用于工业过程控制中 产品性能，如含水量、多孔性、粘度、密度、温度、硬度等的非接触测量。要保证测量的精 确度，首先要设计合适的传感器。传感器的结构参数包括波长、电极厚度、电极长度、电极 对数、基板介电常数以及基板厚度等，这些参数的变化直接影响传感器的穿透深度和灵敏度， 这两个指标是影响测量精确度的重要因素。 [1] [2] [3] [4] 基金项目：国家自然科学基金；高等学校博士学科点专项科研基金（200803591019）；教育 部回国留学人员启动基金 作者简介：张慧凤（1986-），女，研究生，主要研究方向：传感器技术，数字信号处理 通信联系人：黄云志（1976-），女，博士，副教授，主要研究方向：数字信号处理，传感器技术和智能仪 表. E-mail: hqyz@hfut.edu.cn -1-   心距一定的情况下，不同的极板宽度与极板的间隙的比值进行仿真，设计三种交叉指传感器 [5] ；复旦大学分析了交叉指型传感器的手指数目、电极长度、电极宽度对传感器性能的影响 [6] 。本文基于有限元模型，研究结构参数的正交优化设计方法。以两波长交叉指传