硅料异常8D报告.pptVIP

* OCI 8D Report（MCLT 问题） 目录 团队成员 问题 Interim containment actions 根本原因 选择与核实长期正确的行动 确认长期而正确的行动 防治问题的再次发生 团队庆祝 团队成员 问题描述 *九州方园测试了8英寸的 ST700单晶P型硅片（批次号： 1089C1523ST ） *ST700硅片的寿命与参考值相比较低 无差别 85.31% 85.25% 有效比例 不同 1282mm 1221mm 总长 待核实 99.64kg 103.24kg 硅棒重量 无法比较 1.12-1.21 1.26-1.34 底部电阻 ST700较低 3.04-3.50us 2.11-2.35us MCLT底部 ST700较高 5.34-5.84us 5.56-6.26us MCLT顶边 ST700较高 5.34us 6.69us MCLT 顶心 不同 7.30kg 1.60kg 拉棒余料 不同 107.06kg 104.84kg 原料 注释 参考值 ST700 参数 问题 锅底余料1.6kg与参考值5,34kg（我怀疑是不是7.30kg）相比太小，大概剩余多少比较合适？ 两个测试是否是同一个拉棒机器？ MCLT取样位置是否一致？ 是否测试过刻蚀与钝化的slug 一次测试很难去顶寿命差异，是否打算再测一次 是否使用硅片进行不达标分析？ 问题描述：公共分析 问题硅片（1089C1523ST）多晶硅数据显示正常且属于正常规格以内。 没有哪一项过程可以完全定义为潜在的根本原因。 问题硅片也供给给了其他客户，但是客户没有反应质量的问题 多晶硅质量数据 0.30 ppma 0.80 ppba 0.30 ppba 规格 0.01 ppma 0.129 ppba 0.01 ppba 1089C1523ST 碳元素C 磷元素P 硼元素B 1.原料杂质 2. 表面金属 （单位：ppbw） 1. 00 1. 00 2. 00 1.00 1. 00 1.00 1. 00 2.00 5.00 规格 1% 5% 2% 1% 1% 1% 1% 1% 0.09 1089C1523ST K Al Na Zn Cr Ni Cu Fe 总量 硅棒 原料金属杂质 单位：ppbw NA NA NA NA NA NA NA NA NA 规格 0.05 0.04 0. 05 0.03 0. 05 0.12 0. 01 0.06 0.41 1089C1523ST K Al Na Zn Cr Ni Cu Fe 总量 处理历史数据 产品追踪 收获时间： 2011.05.28 外观缺陷检查： 外观良好 处理事件： 无 总批次数量 ： 4,240kg -A公司（日本）：2520kg（59%） -B公司（中国）：870kg（20%） -C公司（欧洲）：670kg（14%） -OCI上海： 180kg（4%） 问题/意见 Commonality analysis results a.问题硅片（1089C1523ST）多晶硅数据显示正常且属于正常规格以内。 b.没有哪一项过程可以完全定义为潜在的根本原因。 短寿命的假设 a.两个多晶硅批次的测试条件不同，如原料重量，锅底余料，硅棒长度 b.OCI与参考值的不同情况可能导致某些不易查别的结果 3. 意见 建议重测一次来比较多晶硅的寿命 *相同的原料，相同的bed charge 重量（测试VS参考值） *最少三次测试 *在晶棒相同的位置测试寿命（测试VS参考值与OCI VS JZ SOLAR） *