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浅谈机电一体化在多晶硅生产中的应用 目 录 1机电一体化的介绍及其发展……………………………………………………………4 1.1机电一体化的介绍……………………………………………………………4 1.2机电一体化的发展……………………………………………………………4 2多晶硅的发展及其介绍……………………………………………………………6 1.1多晶硅的发展……………………………………………………………6 1.2多晶硅的介绍……………………………………………………………6 3机电一体化在多晶硅生产中的应用前景……………………………………………7 3.1多晶硅生产为何要引进机电一体化…………………………………………………7 3.2 机电一体化的发展趋势随着机电一体化在的快速发展，它对系统产生了很大冲击，采用机电一体化产品将大大改善生产的劳动强度、工作环境及安全系数，同时在降低能耗、保证安全生产方面也实现了特定价值。机电一体化1．机电一体化机电一体化是指在机构得主功能、动力功能、信息处理功能和控制功能上引进电子技术，将机械装置与电子化设计及软件结合起来所构成的系统的总称。机电一体化技术定义机电一体化又称机械电子学，英语称为Mechatronics，它是由英文机械学Mechanics 的前半部分与电子学Electronics 的后半部分组合而成。机电一体化技术是将机械技术、电工电子技术、微电子技术、信息技术、传感器技术、接口技术、信号变换技术等多种技术进行有机地结合，并综合应用到实际中去的综合技术。是现代化的自动生产设备几乎可以说都是机电一体化的设备。机电一体化最早出现在1971 年日本杂志《机械设计》的副刊上，随着机电一体化技术的快速发展，机电一体化的概念被我们广泛接受和普遍应用。随着计算机技术的迅猛发展和广泛应用,机电一体化技术获得前所未有的发展。现在的机电一体化技术，是机械和微电子技术紧密集合的一门技术，他的发展使冷冰冰的机器有了人性化，智能化。机电一体化技术的应用在现代机械制造业中的应用。传统机械制造业是建立在规模经济的基础上，靠企业规模、生产批量、产品结构和重复性来获得竞争优势的，它强调资源的有效利用，以低成本获得高质量和高效率，其生产盈利是靠机器取代人力，靠复杂的专业加工取代人的技能来获取的。先进的机械制造业是以信息为主导，采用先进生产模式、先进制造系统、先进制造技术和先进组织管理形式的全新的机械制造业，其特征是全球化、网络化、虚拟化、智能化以及环保协调的绿色制造。现代制造业集成了现代科学技术的发展，充分利用电子计算机技术，使制造技术提高到新的高度。机电一体化的发展过程机电一体化的发展过程大体可以分为三个阶段。　　 初级阶段20 世纪60 年代以前为初级阶段。在这一时期，人们自觉不自觉地利用电子技术的初步成果来完善机械产品的性能。那时，研制和开发从总体上看还处于自发状态。由于当时电子技术的发展尚未达到一定水平，机械技术与电子技术的结合还不可能广泛和深入发展，已经开发的产品也无法大量推广。蓬勃发展阶段20 世纪7080 年代为蓬勃发展阶段。这一时期，计算机技术、控制技术、通信技术的发展，为机电一体化的发展奠定了技术基础。大规模、超大规模集成电路和微型计算机的出现，为机电一体化的发展提供了充分的物质基础。这个时期的特点是：mechatronics 一词首先在日本被普遍接受，大约到20 世纪80 年代末期在世界范围内得到比较广泛的承认；机电一体化技术和产品得到了极大发展；各国均开始对机电一体化技术和产品给予很大的关注和支持。　智能化阶段20 世纪90 年代后期，开始了机电一体化技术向智能化方向迈进的新阶段，机电一体化进入深入发展时期。一方面，光学、通信技术等进入机电一体化，微细加工技术也在机电一体化中崭露头脚，出现了光机电一体化和微机电一体化等新分支;另一方面，对机电一体化系统的建模设计、分析和集成方法，机电一体化的学科体系和发展趋势都进行了深入研究。同时，人工智能技术、神经网络技术及光纤技术等领域取得的巨大进步，为机电一体化技术开辟了发展的广阔天地。这些研究，使机电一体化进一步建立了坚实的基础,并且逐渐形成完整的学科体系。……硅材料是太阳能产业最重要的基础原材料，其中又以晶体硅材料为主。但随着近年来太阳能电池产量的显著增长，晶体硅材料开始出现短缺，并导致其价格不断上涨，严重制约了太阳能产业的发展。为了应对原材料不断短缺与价格不断上涨的压力，研究界与产业界积极通过扩展设备和引入新的制备工艺来提高晶体硅材料的生产能力。为此，多晶硅产业的迅速发展成为必然。 2.2多晶硅的现状及发展 多晶硅生产过程中，涉及到的危险化学品主要有硅粉、四氯化硅、三氯硅烷（三氯氢硅）、二氯硅烷（二氯二氢硅）、氢、硝酸、氢氟酸、氯化氢、氮、氩、氧化钙、氢氧化钠