低压电浆蚀刻设备操作手册.pdfVIP

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CNT080908PA01-101 低壓電漿低壓電漿設備設備-CNT-CNT--PPAA0011 低壓電漿低壓電漿設備設備--CNTCNT--PPAA0011 操作手冊操作手冊 操作手冊操作手冊 版本版本 6 6..55 版 版 版本版本 66..55 版版 馗鼎奈米科技股份有限公司 710 台南縣永康市亞太工業區中正路 279 巷21 弄59 號 TEL:06-2323927 FAX:06-3013155 聲明聲明 聲明聲明 本操作手冊僅供購買單位機台操作時使用 ,不得全部或部分複製、轉載本操作手冊, 本手冊的內容將來如有變更 ,恕不另行通知。 未經原廠同意 ,私自拆卸變更本機台所造成之損壞,本公司不予負責。 安全須安全須知 知 安全須安全須知知 1. 請注意安全 。正確使用本產品、對你或他人生命財產安全危害防範于未然 請務必遵守 各項安全注意事項 2. 請務必了解以下圖形所表示的意思後 再閱讀本文內容 此圖表示 : 高壓電危險 請勿靠近 可能遭電擊死亡 此圖表示 : 不當操作或使用 可能造成人員重傷 、死 亡或設備毀損 此圖表示 : 使用不當 可能造成人員輕傷或設備損 壞 此圖表示 : 禁止拆卸以免造成設備毀損 此圖表示 : 高溫區域 請勿碰觸 以免燙傷 Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 1 頁,共53 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 0.0 URL: E-Mail: cnt.nano@

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