毕业论文--定向凝固多晶硅锭夹杂分布研究.doc

PAGE 密级： NANCHANG UNIVERSITY 学 士 学 位 论 文 THESIS OF BACHELOR （20** —20）） 年） 题 目 定向凝固多晶硅锭夹杂分布研究 学 院： 材料科学与工程 系 材料科学与工程 专 业： 材料科学与工程(金属材料方向) 班 级： 金属材料****班 学 号： ***2103** 学生姓名： ** ** ** 指导教师： ** ** ** 起讫日期： 20**.3.*——20**.6.* 目 录 TOC \o 1-2 \f \h \z \u HYPERLINK \l _Toc169477669 摘要 PAGEREF _Toc169477669 \h I HYPERLINK \l _Toc169477670 Abstract PAGEREF _Toc169477670 \h II HYPERLINK \l _Toc169477671 1 引言 PAGEREF _Toc169477671 \h 1 HYPERLINK \l _Toc169477672 1.1 太阳能电池多晶硅的研究背景 PAGEREF _Toc169477672 \h 1 HYPERLINK \l _Toc169477673 1.2 太阳能多晶硅的国内外现状 PAGEREF _Toc169477673 \h 1 HYPERLINK \l _Toc169477674 1.3 问题的提出及本文的研究内容 PAGEREF _Toc169477674 \h 4 HYPERLINK \l _Toc169477675 2 实验方法 PAGEREF _Toc169477675 \h 5 HYPERLINK \l _Toc169477676 2.1 实验材料、试剂及仪器 PAGEREF _Toc169477676 \h 5 HYPERLINK \l _Toc169477677 2.2 实验步骤 PAGEREF _Toc169477677 \h 5 HYPERLINK \l _Toc169477679 3 结果与讨论 PAGEREF _Toc169477679 \h 7 HYPERLINK \l _Toc169477680 3.1 定向凝固多晶硅锭中夹杂的物相的确定 PAGEREF _Toc169477680 \h 7 HYPERLINK \l _Toc169477705 3.2 夹杂物在定向凝固多晶硅中分布特征的确定 PAGEREF _Toc169477705 \h 10 HYPERLINK \l _Toc169477707 3.3 定向凝固多晶硅中C、N来源及碳化硅、氮化硅形成条件分析 PAGEREF _Toc169477707 \h 11 HYPERLINK \l _Toc169477733 3.4 夹杂丛生模型 PAGEREF _Toc169477733 \h 14 HYPERLINK \l _Toc169477734 3.5 夹杂富集在表面层的原因的分析 PAGEREF _Toc169477734 \h 16 HYPERLINK \l _Toc169477735 3.6 多晶硅中部的夹杂产生原因的分析 PAGEREF _Toc169477735 \h 16 HYPERLINK \l _Toc169477736 4 结论 PAGEREF _Toc169477736 \h 18 HYPERLINK \l _Toc169477738 附录 PAGEREF _Toc169477738 \h 19 HYPERLINK \l _Toc169477740 附录1 碳化硅、氮化硅形成热力学的matlab分析 PAGEREF _Toc169477740 \h 19 HYPERLINK \l _Toc169477741 附录2 夹杂动力方程的详细推导过程 PAGEREF _Toc169477741 \h 20 HYPERL