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维普资讯
第28卷第2期 钢 铁 钒 钛 V01．28．No．2
May2007
2OO7年 5月 IR0N STEELVANADIUM TrrANIUM
单相 VO2薄膜的制备及显微组织分析
乔 威，李智东，赵昆渝，李林德 ，孟召标
(昆明理工大学材料与冶金工程学院，云南 昆明 650093)
摘 要 ：以V20,粉末为原料 ，采用无机溶胶 一凝胶法在玻璃衬底上制备 了V2Os干凝胶膜 。通过两种退火工艺成功
制备出了单相 Vo2薄膜 ，并对其物相和显微组织进行 了分析。
关键词 ：VO2；薄膜 ；V2 ；无机溶胶 一凝胶法
中图分类号 ：TB34，O614．51 1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—7638(20o7)o2—0053一o4
PreparingM onophaseVO2Thin Film andExaminingItsM icrostructure
QiaoWei，LiZhidong，ZhaoKunyu，LiLinde，MengZhaobiao
(KunmingUniversityofScienceandTechnology，Kunming650093．Yurman，China)
Abstract：TheVO2thinfilm WaSmadefrom V205drygelatinfilm bytwo—stepannealingpractice．TheV2Os
gelatinfilm waspreparedbyinorganicsol——gelmethodfrom V204powderandwasdried infirstannealingoper-·
ation，then，thedryV2Osfilm wasnanealedinvacuum quartzpipeat450℃ nad480℃ respectively，SOthe
V02thinfilm WaSobtained．ThemicrostructureofVO2thinfilm wasexaminedbyXRD andphotomiemgraphy．
Th eresultsshow theVO2thinfilm ismonophaseandannealingtemperaturehasmarked influenceonthemi —
crostm cture．
Keywords：V02；thinfilm；V204；inorgna icsol—gelmethod
制备薄膜 ，具有制备工艺简单 ，易于控制 ，成本低 ，镀
0 引言
膜形状无约束 ，无污染等优点。VO 体系比较复杂，
VO2是一种很有前途的热敏型功能材料。在温 不仅制备符合单一化学计量比的 VO 薄膜 比较 困
度 68℃(341K)附近有明显 的相变现象，并伴随着 难 ，而且薄膜微缺陷类型l6J和形成机理 ，薄膜和衬底
光学 电学性能的突变，且相变温度可通过掺杂来改 之间的过渡层等对其性质的影响也缺乏系统详尽的
变…，应用前景比较广阔 ．如用于太阳能控制材料 ， 研究。目前 ，SOL—GEL工艺还不够成熟和稳定 ，所
电学、光学开关材料 2【0J，红外激光防护膜 ，非制冷 以用无机 SOL—GEL法进行深入研究对该制备工艺
红外探测器l4jJ，微测辐射热仪等。对国防建设、航 的成熟具有理论和实践上的指导
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