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* * * 原子力显微镜Atomic Force Microscopy 概述 自从1982年G. Binning H. Rohrer发展出扫瞄穿隧显微镜(Scanning Tunneling Microscope)之后,衍生出一系列扫瞄探针显微镜(Scanning Probe Microscope),原子力显微镜(AFM)因为可以检测绝缘体表面等优势成为其中一典型代表 SPMs 侦测物理量 横向分辨率 STM Scanning Tunneling Microscope 穿隧电流 0.2 nm MFM Magnetic Force Microscope 磁力 0.2 nm EFM Electrostatic ForceMicroscope 静电 50 nm SThM Scanning ThermalMicroscope 热 10 nm SNOM Scanning Near-Field Optical Microscope 近场光波 20 nm LFM Lateral ForceMicroscope 侧力 2 nm AFM的工作原理 将一个对微弱力极敏感的微悬臂的一端固定,另一端有一个微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触。由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥作用(10-8-10-6N),通过在扫描时控制这种力的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测等方法,可测得微悬臂对应于扫描点各点位置的变化,从而可获得样品表面的形貌信息。 原子间作用力 有几种典型的力量会造成原子力显微镜悬臂的歪斜,最普遍的是范德瓦尔斯力(van der Waals force),其它还有如静电力(electrostatic), 磁力(magnetic force), 热梯度力(thermal gradients), 和光压(optical intensity)…. 原子间范德瓦耳斯力和距离关系 恒定-力量或恒定-高度 使探针受力保持不变 通过测得探针的起伏变化而得到原子表面高度信息 使探针位置保持不变 通过测量保持探针位置不变的外力的大小而得到表面高度信息 反馈控制机制 反馈回路(Feedback)的作用就是在工作过程中,由探针得到探针-样品相互作用的强度,来改变加在样品扫描器垂直方向的电压,从而使样品伸缩,调节探针和被测样品间的距离,反过来控制探针-样品相互作用的强度,实现反馈控制。 AFM的反馈机制—隧道电流法 两条反馈线路 控制样品和微悬臂针尖之间的力,使其在针尖随表面的轮廓起伏时不变 电容检测法 位置检测 ??? 在原子力显微镜(AFM)的系统中,当针尖与样品之间有了交互作用之后,会使得悬臂cantilever摆动,所以当激光照射在cantilever的末端时,其反射光的位置也会因为cantilever摆动而有所改变,这就造成偏移量的产生。 光反射检测法 δ z 光干涉检测法 优点:不要求微悬臂具有特别平滑的高反射性的表面;对空气运动引起的光强波动不敏感。 原子力显微镜的工作模式 以针尖与样品之间的作用力的形式分为: 接触模式(contact mode) 非接触模式( non - contact mode) 敲击模式( tapping mode) 接触式AFM 接触式AFM是一个排斥性的模式,探针尖端和样品之间做柔软性的「实际接触」,力的大小范围在10 - 10~10 - 6 N。当探针尖端轻轻的扫过样品表面时,接触的力量引起悬臂弯曲,进而得到样品的表面图形。 非接触式AFM 非接触模式探测试样表面时悬臂在距离试样表面上方5~10 nm 的距离处振荡,通常为10 - 12 N ,样品不会被破坏,而且针尖也不会被污染,特别适合于研究柔嫩物体的表面。 敲击式AFM 敲击模式介于接触模式和非接触模式之间,悬臂在试样表面上方以其共振频率振荡,针尖仅仅是周期性地短暂地接触/ 敲击样品表面 因此当检测柔嫩的样品时,AFM的敲击模式是最好的选择之一。 对样品要求 研究对象:有机固体、聚合物以及生物大分子等。 样品载体:云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和某些生物膜等,其中最常用的是新剥离的云母片,主要原因是其非常平整且容易处理。 试样尺寸 厚度:(包括试样台的厚度)最大为10 mm。 大小:以不大于试样台的大小(直径20 mm) 为大致的标准,最大值约为40 mm。 三大模式比较 工作模式 优点 缺点 适用样品 接触模式 扫描速度最快 1、使样品表面变形。 2、探针或者样品有钝
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