(毕业论文)微环共振器的设计.docVIP

目 录 第一章 引言 1 1.1 概述 1 1.2 微型环状共振器的进展及其应用 2 1.3 微型环状共振器的工作原理 3 1.4 OptiFDTD软件介绍 4 第二章 使用OptiFDTD设计微型环状共振器 4 2.1 设计微型环状共振器的Layout图 4 2.1.1 初始化属性参数 4 2.1.2 设计微型环状共振器的Layout图 3 2.1.3 设置激励的输入光平面：Input Plane 5 2.1.4 添加观察点（Observation Point） 6 2.2 运行该微型环状共振器 7 2.3 微型环状共振器的数据结果分析 7 2.3.1 观察分析Ey（DFT）图 7 2.3.3 对设定的观察点的数据进行采集和分析 7 2.4增加一个内环对微型环状共振器的影响 8 2.4.1 不改变两光波导间距再增加一个内环共振器 8 2.4.2 两种模型对比并初步得出结论 9 2.4.3增加半径差而不改变两波导间距 ............................................................9 2.4.4 三种模型对比分析验证猜想 .................................................................11 结束语 11 参考文献 12 引言 1.1 概述 20世纪60年代初期，红宝石激光器、氦氖激光器的出现揭开了光通信发展的序幕。其后，随着激光技术的不断发展，光学同其它学科领域不断渗透和融合，形成了许多新的分支学科或边缘学科。七十年代，在微电子学和激光技术相结合的基础上，集成光学作为一门新的技术应运而生．其主要目的是将传统的大型光学系统小型化直至微型化，但是，此技术并不是简单地将组成光学系统的各个元器件按比例微缩，而常常要在高新物理学知识和制造技术的基础上对这些元器件的结构上进行根本的改变，并最终能获得具有多功能的单片集成光路。 1.2 微腔共振器的实验进展及其应用 微腔共振器的研究不但从大尺寸(几百微米)向小尺寸(几个微米)发展，而且微腔共振器的形状也不断交化着。在发展过程中经历了微柱、微球和微盘等阶段，现在研究更多的是微环共振器，本论文所侧重研究的也是微环共振器。随着研究的不断进展，微盘共振器也出现了，其制作材料主要为砷化镓（GaAs）。锥形波导和微盘共振器之间光场的传输与耦合情况基本上和上面介绍的关于微球共振器的情况类似。 最近研究的热点是微环共振器，同时也是本文探讨的内容。它的加工工艺和上面介绍的微盘共振器的情况类似，但是它的应用更为灵活、便捷，例如它可以与波导相结合构成分插滤被器、光开关等功能元件。这些功能元件在光通信和信息处理等领域有着巨大的市场，所以潜在的市场应用反过来又刺激这方面的实验研究。两种最常见的关于微环共振器与线波导组合，分别可以应用于分插滤波器和光开关。光场在微环共振器中经过不断的反馈振荡，那么微环共振频率处的光场就会相干增强。以上所介绍的都是单环(球、盘)的情况，在实际应用中还有多种结构。比如多个微环共振器进行一维级联，就可以形成一种新型的光被导，称为耦合谐振光波导(CROW)1.3 微环共振器的工作原理 1969年Marcatili提出光学微环共振器的结构和概念以来, 由于它具有诸多方面的优点如：微环Q 值很高, 损耗小, 尺寸小, 利于集成等而倍受关注。通过多年的研究, 先后设计出各种类型的微环共振结构。如单波导单环结构、单波导双环 、双波导单环耦合结构及各种级联结构。各种结构的滤波特性、开关特性和缓冲特性方面都得到深入的研究。已经利用微环共振器制出了半导体激光器、光波导滤波器和光存储器等器件。它们成为高密度光集成元件的选择之一, 在通信领域有很好的应用前景, 这对全光通信具有重要意义。 微型环状共振器其是通过波导定向耦合器将环形波导与输入输出波导连接而成，如图1.3所示。设环形波导谐振腔的谐振频率为f2，则一列频率为f1、f2、f3?的信号波由通道1进入，与环形谐振腔发生耦合后，只有频率为儿的信号波能在环形谐振腔内达到谐振状态，在通道2的下载口输出，实现对儿信号的下载。这就是共振腔的选频作用 1.3微型环状共振器的示意图 1.4 OptiFDTD软件介绍 OptiFDTD的运算方法是基于有限差分(FDTD)法。已经建立的时域有限差分法作为一个强大的工程工具集成和衍射光学器件模拟。这是由于其独特的组合的特性,比如能够模型光传播、散射和衍射、反射和极化效应。它还可以模型材料各向异性和分散没有任何前设的领域行为如慢变振幅近似。该方法允许有效的和强大的仿真和分析设备通过非常细亚微米结构细节。一次微米尺度意味着高度光约束和相应地,大折射率差的材料(主要是半导体)用于典型的装置设计。 第二章