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新锐光学（常熟）有限公司 制三课 镀膜 徐 名 泉 镀膜机基础知识 日本 RAS-1100机台 龍翩 LP系列 第一課：鍍膜機的構造 鍍膜機時集機械、電子、光學為一體的高科技機器。成本相當高，在生産操作過程中一定要小心謹慎，每位人員都要知道鍍膜機的結搆及各部件之間的動作順序與條件。 鍍膜機可分為五大系統 一、真空系統 二、控制系統 三、膜厚系統（監控系統） 四、蒸鍍系統 五、輔助系統 一、真空系統 工作原理： 真空繫統主要是利用壓強原理進行排氣工作。 是通過（RP MP Dp） 的工作來進行壓強原理來排氣工作。 真空系統簡單排氣圖 有以下組成： (1) 冷卻水 桶身加熱器冷卻水電磁閥 (2) GUN 電子鎗冷卻水電磁閥 (3) 氧氣 氣體注入電磁閥 (4) ATM ATM/VAC真空狀態之顯示 (5) 加熱器 顯示桶身加熱器是否動作 (6) 監控片 顯示監控片目前位置 (7) 迴轉 顯示桶身迴轉機構是否動作 (8) 轉速 顯示桶身迴轉機構之轉速 (9) SH1 遮板開關1 (10) SH2 遮板開關2 (11) Gun1 無使用 (12) Gun2 Gun2坩鍋位置顯示 (13) RV 粗抽閥 (14) RSV 微粗抽閥 (15) HV 高真空閥 (16) LV1 洩氣閥1 (17) LV2 洩氣閥2 (18) DP 油擴散邦浦 (19) FV 前置閥 (20) BP 機械輔助邦浦 (21) RP 油迴轉邦浦 (22) RLV 管路洩氣閥 (23) 幫浦啟動 主機啟動 (24) 關機 關機 (25) 自動 真空流程自動 (26) 手動 真空流程手動 (27) 警報確認 (28) 主畫面 按下此鍵將回至Screen1中英文選擇畫面 有上圖可知： 真空系統由RP、DP、MV、FV、LV、RV、RLV及連接管組成真空是由各級泵浦的運轉工作完成的、抽氣可分為兩個過程。既： A：初抽：真空室－RV－MP－RP－大氣中 B：主抽：真空室－MV－DP－FV－MP－RP－大氣中 另外，初抽可分為兩個階段，既： A：真空室－RV－PBV－RP－大氣中 B：真空室－RV－MP－RP－大氣中 初抽主要是機械泵的工作，它利用壓強原理來達到抽氣的功能。 真空系統有以下組成： RP（機械泵浦） MP（輔助泵浦） DP（擴散泵浦） RP（機械泵浦） 工作原理：是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作，氣體被分成兩部分。轉子並非繞着圓心鏇轉，這使吸氣鍴的體積不斷變化。吸氣壓縮與排氣過程是同時進行的，隨着轉子的不斷鏇轉，泵體的兩部分體積的變化。當排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時，空氣分子不斷經RP排到大氣中 。 注意： ，RP內壁一定要保持清潔、光滑當機械泵浦裏麵有很多雜質或潤滑油的粘稠度的，否則，轉子很容易磨損，吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離，造成RP排氣性能降低，RP性能差就是