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第28卷 第2期 甘肃科技 Vol28 No2
2012年1月 GansuScienceandTechnology Jan 2012
基于线阵CCD扫描技术的
ITO导电玻璃指标检测技术研究
王云辉,张春梅,廉画画
(北方民族大学,宁夏 银川750000)
摘 要:应用CCD检测技术可实现非接触在线实时检测。对幅面尺寸较小,但尺寸精度、弯曲度和透光率要求较高
的手机、数码相机等液晶显示屏的玻璃基板的在线检测来说是一个很好的解决方案。此外,线阵CCD扫描技术在检
测和监测物体表面点状缺陷有着自身潜在的优势。讨论了玻璃基板的质量检测指标,研究了应用几何光学的原理
实现玻璃基板厚度和弯曲度的CCD检测方法。重点讨论了应用Marr算子对边缘检测进行精确定位的方法,为玻璃
性能的主要测量参数:长度、宽度、厚度及玻璃体线状缺陷等检测指标的高精度检测提供了保障。
关键词:CCD检测技术;ITO导电玻璃;实时检测
中图分类号:G307
定标准通常为:
1 引言 (1)测试方法:用直尺和游标卡尺测量待测玻
ITO导电玻璃是制造液晶显示面板的关键原材 璃原片的长度、宽度、厚度。
料,广泛应用于手机、数码相机、数码摄像机、PDA、 (2)判定标准:测量结果在供货商所提供的参
MP4、车载显示屏、工业控制面板等。 数范围之内为合格。
影响ITO玻璃性能的主要参数有: 然而,用直尺和游标卡尺测量玻璃尺寸的传统
1)长度、宽度、厚度及允差( ±020)、垂直度 检测方法在测量时必须使工具和工件相互接触,而
≤
( 010%)、翘曲度(厚度07mm以上 010%, 接触时极易损坏导电玻璃ITO表面,测量速度慢,也
≤ ≤
厚度055mm以下 015%); 难以满足高精度测量的要求,如果进行多点测量传
≤
2)外观质量要求: 统方法就受到更多限制,精确测量就更加困难。
(1)裂纹:不允许。 应用CCD检测技术可实现非接触在线实时检
(2)粘附物:包括尘粒、玻璃碎片等凸起物,高 测,适用于工业自动化生产。特别适用于幅面尺寸
度不超过01mm。 较小、但尺寸精度、弯曲度和透光率要求较高的手
(3)崩边和划痕:长 ×宽 20mm×10mm;深 机、数码相机等液晶显示屏的玻璃基板的在线检测。
≤
度不超过玻璃基片厚度的50%;总长度 总边长的 此外,线阵CCD扫描技术在检测和监测物体表面点
≤
5%。 状缺陷有着潜在的优势,主要针对基于CCD技术的
(4)玻璃体点状缺陷:包括气泡、夹杂物、表面 厚度测量,弯曲度测量,边缘检测进行讨论。
凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为:d=(缺
陷长+缺陷宽)/2。 2 基于CCD技术的ITO玻璃检测
(5)玻璃体线状缺陷(宽度W):包括玻筋、光学 21 基于折射率的检测
变形。 检测原理:在普通物理光学
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