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聚焦离子束（FIB） 双束系统的原理和应用 MOI 夏娟 什么是FIB ，FIB能做些什么?  Focused 3 nm spot size at 1pA  Ion 500 V-30 kV Ga+  Beam 1pA to 20 nA • FIB 是聚焦离子束显微镜 当离子束打到样品表面上的时候，会产 生一些二次离子信号，二次电子信号等，FIB通过对这些信号进行采集 和处理形成显微图像。 • FIB 是一台加工的机器. 这种加工是定位加工，镓离子(Ga+) 束打到样品的表面可以使样品上的原子被轰击去除，从而达到切割加工 的作用。 • FIB 可以进行材料