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Rena前后清洗工艺培训教材 H.测量仪器的短缺 测量仪器的短缺会造成测量不能及时进行，产品质量不能保证，甚至导致生产大量不良片后才发现。至少保证每两台机器有一台测量仪器（电子天平和绝缘电阻测试仪）。 预防措施： 1.设备定期检查测量仪器是否完好，准确 2.校正部门应定期校正测量仪器 3.应给每台设备配备测量仪器 I.工艺规定和要求执行的不彻底 1.主要包括新换药液后和待机一段时间后跑假片，假片跑不够，就会出现滚轮影或刻蚀量不够； 2.片源不足时集中投放，不然前清洗容易出现刻蚀量不均匀，后清洗容易出现过刻； 3.清洗后的片子放置时间控制，硅片表面氧化，影响后面效率良率； 4.待料时滚轮不及时冲洗，容易出现碱槽喷淋风刀盐结晶堵塞，导致出现脏片和 水洗1槽滤芯盐结晶堵塞，出现流量低，从而出现脏片等。 预防措施： 1.培训员工了解工艺规范 2.建立考核制度 3.工艺设备加强检查生产的执行情况 J.员工的操作不当、质量意识欠缺以及作业区5S执行状况 主要表现为片子放反，出现不良时不能及时发现隔离并通知工艺和设备，减少不良产生等。手套，片盒，桌面，机台等卫生状况都会影响产品质量。 预防措施： 1.培训员工了解工艺规范及5S规范 2.建立考核制度 3.5S、工艺、设备加强检查生产的执行情况 五、前后清洗换药规程 前清洗换药规程 1、更换刻蚀槽药液 主界面依次点击stop→Mode Manual停机并将机器切换成手动操作模式。 主界面 点击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面) 刻蚀槽换药界面 滚轮控制界面 点击F11在出现的界面点击Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyors→Start开启滚轮。点击F4回到刻蚀槽换药界面。 点击System draining排去Bath槽和tank槽的药液。排药过程用水枪冲洗刻蚀槽槽盖，滚轮。冲洗好后将槽盖关闭。冲洗过程中穿戴好防护用具，注意安全。 待图标显示Empty(黄色)，点击PT Filling DI加水清洗。 待Prepping cabinet显示Full DI时，点击Fill bath将水打入bath槽。 待bath槽显示Full DI时，循环2min清洗。 点击System draining排水。待图标显示Empty(黄色)，排水完毕，清洗结束。 重复上述清洗步骤。清洗次数依据实际情况调整，一般为2次。 点击PT Filling Chemie向tank槽添加药液。若加药过程外围药液量不够报警，通知外围换药。待外围换药结束，确认无报警信息后点击PT Filling Chemie继续加药。 待Prepping cabinet显示Full Chemie时，点击Fill bath将药液打入bath槽。 待bath槽显示Full Chemie时，依次点击F11→Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyors→Stop关闭滚轮。 按F10返回主界面。 依次点击Mode Auto→Start开启机器。 2、更换碱槽药液 主界面依次点击stop→Mode Manual停机并将机器切换成手动操作模式 点击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面) 点击F11在出现的界面点击Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyors→Start开启滚轮。点击F4回到刻蚀槽换药界面。 点击Alkaline进入碱槽换药界面。 点击Draining将药液排掉。 待图标显示Empty（黄色），点击Filling DI加水清洗。 待Alkaline Rinse图标显示Full DI时，点击Start circulation打开循环。循环2min。清洗次数依实际情况而定（一般为2次），若清洗多次后水仍呈乳白色，可与设备人员沟通更换滤芯。 点击Stop→Draining将水排掉，待Alkaline Rinse图标显示Empty，排水完毕，清洗结束。 点击Filling Chemie添加药液。若加药过程外围药液量不够报警，通知外围换药。待外围换药结束，确认无报警信息后点击PT Filling Chemie继续加药。 依次点击F11→Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyors→Stop关闭滚轮。 按F10返回主界面。 依次点击Mode Auto→Start开启机器。 3、更换酸槽药液 主界面依次点击stop→Mode Manual停机并将机器切换成手动操作模式 点击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面) 点击F11在出现的界面点击Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyors→Start开启滚轮。点击F4回到刻