衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究.docVIP

振　动　与　冲　击 第 ３２卷第 １期 ＪＵＲＮＡＬＯＦＶＩＲＡＴＩＮＡＮＤＳＨＯＣＫ Ｖｏｌ３２ Ｎｏ．１２０１３　  衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究 金　一，竺长安 （中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系，合肥　２３００２７） 　　摘　要：针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标（杂散光强 度和波前质量）之间的关系，提出利用改进的 Ｈｉｂｅｒｕａｎｇ变换（ＨＨＴ）获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特 性进行研究。首先，给出了基于固有模态函数（Ｉ Ｆ）筛选和瞬时频率差分求解的 ＨＨＴ信号处理算法。然后，设计了光学 测量实验获得工作台 ５０ｎｍ定 位 信 号。最 后，完 成 精 密 定 位 信 号 的 特 征 提 取 和 振 动 测 试 验 证。结 果 表 明：利 用 改 进 的 ＨＨＴ可以精确地完成精密定位信号的特征提取，从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度 和提高波前质量提供依据。 关键词：衍射光栅刻划机；精密定位；Ｈｉｂｅｒｕａｎｇ变换（ＨＨＴ）；特征识别；试验研究 中图分类号：ＴＨ８９　　　文献标识码：Ａ Ｐｏｓｔｏｎｉｇｆａｔｒｅｒｅｃｏｇｎｉｉｎｆｒｐｒｅｃｉｉｎｗｏｒｋｔｂｌ ｏｆａｄｉｆａｃｔｏｎｇｒａｔｎｇｒｕｌｎｇｅｎｇｉｅ ＪＩ Ｙｉ ＺＨＵＣｈａｎｇｎ （Ｄｅｐｔ ｏｆＰｒｃｉｅＭａｃｈｉｅａｎｄＰｒｃｉｅＩｓｒｍｅｎｔ ＵｎｉｅｒｉｙｏｆＳｃｉｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｇｙｏｆＣｈｉａ Ｈｅｆｉ２３００２７，Ｃｈｉａ 　 　 Ａｂｓｒａｃｔ　 ＡｎｉｐｒｖｅｄＨｉｂｅｒｕａｎｇｔａｎｓｏｒａｔｏｎ（ＨＨＴ）ｗａｓｐｕｔｆｒａｒ ｔ ｒｖｅａｌｔｅｐｏｓｔｏｎｉｇｓｇｎａｌ ｃｈａｒｃｔｒｓｉ ｏｆａｎ ｕｌｒｒｃｉｉｎ ｗｏｒｔｂｌ ｂｙｃｏｎｓｄｅｒｎｇｔｅｒｌｔｏｎｓｂｅｔｅｅｎ ｔｅｏｐｔｃａｌｐｅｒｏｒａｎｃｅｉｄｅｘｏｆ ｄｉｆａｃｔｏｎｇｒｔｎｇ ｓｒｙｌｇｈｔｉｔｎｓｔ ａｎｄｗａｖｅｆｏｎｔｍａｓ）ａｎｄｔｅｖｉｒｔｏｎｓｇｎａｌｇｅｎｅｒｔｄｉ ｔｅｐｒｃｉｉｎｐｏｓｔｏｎｉｇ ｐｒｃｅｓ ｏｆｔｅｗｏｒｔｂｌ ｏｆａｍｅｃｈａｎｉａｌｄｉｆａｃｔｏｎｇｒｔｎｇｒｌｎｇｅｎｇｉｅ．Ｆｉｓｌ，ａＨＨＴａｌｏｒｔｍ ｂａｓｄｏｎｉｔｉｓｃ ｍｏｄｅｆｎｃｔｏｎｓ ｓｌｃｔｎｇｃｒｔｒａａｎｄｉｓａｎｔｎｅｏｕｓｆｅｑｕｅｎｃｙ ｄｉｆｒｎｃｅｓｌｔｏｎｗａｓｉｔｏｄｕｃｅｄ．Ｔｈｅｎ，ａｎｏｐｔｃａｌ ｍｅａｓｒｍｅｎｔｔｓｗａｓｄｅｓｇｎｅｄｔｏｂｔｉ５０ｎｍｐｏｓｔｏｎｉｇｒｓｏｎｓ ｄａｔｏｆａｗｏｒｔｂｌ．Ｆｉａｌｙ ｔｅｃｈａｒｃｔｒｓｉｓｏｆｔｅ ｍｅａｓｒｄｓｇｎａｌｗｅｒ ｅｘｔａｃｔｄａｎｄｖａｌｄａｔｄｗｉｈｖｉｒｔｏｎｔｓｓ．Ｔｈｅｒｓｌｓｉｄｉａｔｄｔａｔｔｅｃｈａｒｃｔｒｓｉｓｏｆｐｒｃｉｉｎ ｐｏｓｔｏｎｉｇｓｇｎａｌｃａｎｂｅｅｘｔａｃｔｄａｃｃｕｒｔｌｂｙｍｅａｎｓｏｆｉｐｒｖｅｄＨＨＴ，ｔｅｙｐｒｖｉｅａｔｅｏｒｔｃａｌｒｆｒｎｃｅｆｒｒｄｕｃｉｇ ｔｅｓｒｙｌｇｈｔｉｔｎｓｔ ａｎｄｉｐｒｖｉｇｔｅｗａｖｅｆｏｎｔｍａｓ ｉ ｐｒｃｅｓ ｏｆｆｂｒｃａｔｎｇｇｒｔｎｇｓｅｓｅｎｔａｌｙ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ ｄｉｆａｃｔｏｎｇｒｔｎｇｒｌｎｇｅｎｇｉｅ ｐｒｃｉｉｎｐｏｓｔｏｎｉｇ Ｈｉｂｅｒｕａｎｇｔａｎｓｏｒａｔｏｎ（ＨＨＴ）；ｆａｔｒ ｒｃｏｇｎｉｉｎ；ｅｘｐｅｒｍｅｎｔｌｓｕｄｙ  　　散射光（鬼线、杂散光）、波前质量和衍射效率是评 价衍射光栅性能的三大指标，其中波前质量、杂散光与  稳的。对于此类信号的分析，瞬时频率的获取是关键。 传 统 的 信 号 处 理 方 法，包 括 时 域 统 计 分 析 以 及 光栅工作台的精密定位特性密切相关 ［１－３］ Ｆｏｕｒｅｒ变换分析方法等，均是假设信号过程是线性的、 作台定位方向上的振动一方面会直接影响刻槽的不确 定度，进而对光栅杂散光指标产生影响；另一方面对工 作台运动方向与刻线方向的垂直度 产 生 不 利 影 响，从 而降低光栅波前质量。所 以，工 作 台 的 精 密 定 位 信 号 特征分析对于衍射光栅刻划机精密定位系统定位精度 的控制乃至光栅质量的提高都具有极其重要的意义。 实际工程中 大 部 分 的 振 动 信 号 都 是 非 线 性、非 平 基金项目：“十一五”国家科技支撑计划重大项目（２００６ＢＡＫ０３Ａ０２）；国 家重大科研装备研制项目（ＺＢＹＺ２００８－１）；中国科学院重大科研装 备研制项目（ＹＺ２００８０４） 收稿日期：２０１１－０９－１３　修改稿收到日期：２０１２－０１－１９