复杂光学曲面慢刀伺服超精密车削技术研究----外文翻译.doc

复杂光学曲面慢刀伺服超精密车削技术研究 自由曲面光学元件具有许多优异的光学性能，越来越多地应用到现代光学系统设计中。而自由曲面光学元件制造的复杂性和不确定性是制约其应用的瓶颈之一。慢刀伺服单点金刚石车削是一种可以加工很高精度自由曲面光学表面或非回转对称光学曲面的新技术。机床伺服执行能力是自由曲面能否加工的基本条件。金刚石刀具几何参数的选择、刀具路径规划及刀具半径补偿是确保加工精度的关键。在理论上，对伺服执行能力进行了分析；发展了基于曲面特性分析的刀具参数确定方法；研究了稳定 X 轴的刀具圆弧半径补偿及刀具路径生成技术。使用慢刀伺服技术加工了多种典型的自由曲面光学元件，取得了较好的结果。 慢刀伺服和快刀伺服车削是2种近年发展比较快的超精密加工技术，这2种技术均能显著提高微结构阵列和自由曲面光学器件的加工效率。 慢刀伺服车削是对车床主轴与Z轴均进行控制，使机床主轴变成位置可控的C轴，机床的X、Z、C三轴在空间构成了柱坐标系，同时，高性能和高编程分辨率的数控系统将复杂面形零件的三维笛卡尔坐标转化为极坐标，并对所有运动轴发送插补进给指令，精确协调主轴和刀具的相对运动，实现对复杂面形零件的车削加工。慢刀伺服车削Z轴和X轴往往同时作正弦往复运动，需要多轴插补联动。因此，在加工前需要对零件面形进行多轴协调分析，进而确定刀具路径和刀具补偿。此外，慢刀伺服受机床滑座惯性和及电动机响应速度影响较大，机床动态响应速度较低，适合加工面形连续而且较大的复杂光学器件。 快刀伺服车削与慢刀伺服的差别在于：将被加工的复杂形面分解为回转形面和形面上的微结构，然后将两者叠加。由X轴和Z轴进给实现回转形面的轨迹运动，对车床主轴只进行位置检测并不进行轨迹控制。借助安装在Z轴但独立于车床数控系统之外的冗余运动轴来驱动刀具，完成车削微结构形面所需的Z轴运动。这种加工方法具有高频响、高刚度、高定位精度的特点。 金刚石刀具在压电陶瓷驱动下可以进行Z轴的往复运动。控制系统在实时采集主轴角度信号的基础上，实时发出控制量，控制刀具实时微进给，从而实现刀具跟踪工件面形的起伏变化。快刀伺服在加工前仅需对零件面形进行精确计算，生成能表征零件面形的数据文件。此外，快刀伺服系统的运动频响高、行程只有数毫米，更适于加工面形突变或不连续、有限行程内的微小结构。 复杂光学曲面在提高光学系统性能。实现特殊光学特性。减少系统零件数量。减小系统尺寸等方面有许多显而易见的优点。随着光电信息技术的迅猛发展。复杂光学曲面零件的应用领域将十分广阔。复杂光学曲面无疑是非球面光学零件发展和应用的趋势之一。但目前还远未能纳入到现代光学系统的主流当中。问题的重要原因之一就在于复杂光学曲面的超精密制造相当困难。随着机床技术的进步。直线电机驱动、主轴伺服等一系列新技术应用于超精密车床的设计中。使得一种新的基于慢刀伺服技术的超精密车削创成加工成为可能。机床具有主轴伺服的多轴联动功能。刀具可严格按照规划路径相对于工件复杂表面运动。实现各种高精度的复杂曲面加工。本文以慢刀伺服车削技术作为复杂光学曲面的加工手段。对其创成原理、刀具设计、轨迹规划和精度分析等几方面的关键技术开展研究。 慢刀伺服超精密车削技术原理及关键技术通过对机床结构和创成运动的分析。研究了慢刀伺服车削加工原理。揭示了其与快刀伺服和普通三轴数控加工之间的根本区别。分析指出：直线轴运动性能、先进插补技术以及主轴位置控制是技术关键所在。为研究制约进给驱动性能的关键因素。建立了直线驱动进给系统模型。开展了一系列仿真及实验研究。研究表明进给轴达到高动态、高精度驱动的必要条件是：导轨具有足够的动态刚度。反馈环节量化误差噪声抑制到较低水平。针对复杂曲面数控插补问题。提出了适应加工特点的参数计算方法。将PvT插补技术引入复杂曲面车削。解决了使用线性插补存在的弊端。从伺服轴驱动能力限制和轨迹跟踪精度两个角度分析。得到伺服轴执行能力幅频图。用于确定可加工范围。这些研究为构建慢刀伺服加工平台。正确选择慢刀伺服加工方法奠定了理论基础。 复杂光学曲面慢刀伺服超精密车削的刀具设计理论刀具设计是指刀具模型的建立和几何参数的确定。运用解析分析方法。得到了切削刃轮廓的空间解析模型。为确定刀具几何参数的合理范围。从复杂曲面面形、加工表面微观形貌、加工表面光学特性以及加工材料等角度。研究了对刀具几何参数的制约关系。复杂曲面每一点处对刀具的限制均不相同。通过对曲面基本方程的分析。推导出代表制约关系的关键矢量。解决了复杂曲面对刀具制约问题。这些工作为复杂曲面慢刀伺服车削加工合理设计刀具提供了理论支撑。 复杂光学曲面慢刀伺服超精密车削的刀具路径规划理论精确规划刀具路径是复杂曲面车削加工的基本要求。在合理规划刀具接触点轨迹的基础上。采用误差控制的方法离散。提出法向偏置和稳定x轴偏置两种方法补偿刀具切削刃轮廓