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第 32 卷 第 21 期 中 国 电 机 工 程 学 报 Vol.32 No.21 Jul. 25, 2012
112 2012 年 7 月 25 日 Proceedings of the CSEE ©2012 Chin.Soc.for Elec.Eng.
0258-8013 (2012) 21-0112-07 TN 305 A 470 40
文章编号： 中图分类号： 文献标志码： 学科分类号：
洛伦兹平面电机解耦控制与参数校准
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滕伟 ，柳亦兵 ，武鑫 ，穆海华
(1．华北电力大学能源动力与机械工程学院，北京市 昌平区 102206 ；
2．清华大学精密仪器与机械学系，北京市 海淀区 100084)
Decoupling Control and Control Parameter Calibration for Lorentz Planar Motors
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TENG Wei , LIU Yibing , WU Xin , MU Haihua
(1. School of Energy, Power and Mechanical Engineering, North China Electric Power University, Changping District,
Beijing 102206, China; 2. Department of Precision Instrument and Mechanology, Tsinghua University,
Haidian District, Beijing 100084, China)
ABSTRACT: The strategy of decoupling control and the 关键词：洛伦兹平面电机；解耦控制；参数校准；最小二乘
calibration technology of control parameters are pivotal to 算法
realize ultra-precision motion control for Lorentz planar motors. 0 引言
In this paper, a 3-DOF motion control structure was designed to
implement decoupling control for Lorentz planar motors based 平面电机因具有直接驱动、响应快速等优点而
on inverting the existing dynamic model. To improve control 广泛应用于各种加工设备中[1-2] 。文献[3]基于洛伦
precision furthermore, the uncertainties in the control system
兹平面电机设计了一种用于纳米级定位与运动的
were analyzed and the effect on control precision caused by the
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