薄膜的表征与制备全文打印.pdfVIP

摘要 摘要 四氧化三铁(Fe304)是典型的半金属材料，它是室温测量条件下自旋极化率最 高的半金属材料，极化率高达84％，而且具有高达860K的居里温度。目前，人们 对单晶的Fe304薄膜研究得较多，但对多晶的Fe304薄膜却研究很少。本文正是在 这样的研究背景下进行了多品Fe304薄膜的制备与表征，并根据实验室的要求设计 了一套磁电子输运测试系统。 论文以建立磁电子输运测试系统为研究的中心，并采用直流磁控溅射法制各 了多晶Fe，04薄膜。研究的主要内容包括： 1．采用虚拟仪器技术和单片机技术，实现磁电子输运测试系统中电磁铁的磁 场强度自动采集和全自动磁电子输运测试。 2．研究以磁控反应溅射法制备单相成分的Fe，04薄膜时，溅射功率、晶化温 度对薄膜结构的影响，得到磁控反应溅射制各半金属Fe30。的最优条件。 3．研究引入Ta缓冲层对Fe304薄膜性能的影响。 4．以本测试系统测试所制备的Fe304薄膜的磁电阻效应。 在实际的使用中，磁电子输运测试系统的测试精度较高，重复性好，为材料 的研究提供了一种有效的、可靠的表征方法。薄膜制备的实验中发现溅射功率、 退火温度是影