原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 卷第 期 红外与激光工程 年 月
Y ! %! %
[@I ( Y1@ ( ! 7DE;EHK ;K 6;CHE B=-HHE-= \HT (%!
文章编号： （ ）
!#$%%# %! !$$’
射线衍射、 射线光电子能谱对 薄膜形成机理的研究
! ! #$%
! ! ! % %
刘 爽 ，宁永功 ，陈 艾 ，龙再川 ，杨家德
（ 电子科技大学信息材料工程学院，四川 成都
!( ! !)’
% ( 重庆光电技术研究所，四川 重庆 ’!）
!
摘要：促使物相尽可能地向*+ ,- 和*+,- 转化，是*+,- 薄膜工艺研究中的重要工作。文中通过
%
用 射线衍射（ ）、 射线光电子能谱（ ）微观分析手段对 薄膜形成物相分步观察，研究
. ./0 . .*, *+,-
了长时间变温退火、真空退火以及真空和保护气体（ 和 ）退火等工艺条件对溅射 薄膜物相
1 2 *+,-
% %
形成的影响。结果表明，氢气气氛退火能提高薄膜质量；真空退火可以减少氧元素对成膜的影响。
关 键 词： 射线衍射； 射线光电子能谱； 薄膜
. . *+,-
中图分类号： 文献标识码：
3’4’ 5
$#’( )* #+, -)./0#%)* /,1+0*%2/ )- #$% -%3/
4( !5.0( ’%--.01#%)* 0*’ !5.0( 6+)#) 26,1#./
， ，
678 ,9:;= 171 ?@=$=@= A2B1 5-
（ ，
文档评论（0）