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实验十七 电容测量系统静态特性参数的测试及应用 实验目的 1．掌握电容测量系统静态特性参数的测试和数据处理方法； 2．了解电容传感器测量位移、介质的介电常数和介质层厚度的工作原理； 3．熟悉电容传感器与电容测微仪的使用方法。 二、实验原理 （一）电容传感器的工作原理 传感器为一个平板，被测件为另一个平板。它们构成了一个平行板电容器，电容与极距、介电常数、极板面积之间的关系为：。 (17-1) 其中 — 两极板间介质的介电常数 — 极板面积 — 两极板间的距离 — 传感器电容 一般测头是直径为的圆柱体，其端面积，其实物如图17-1。 故有： (17-2) 可见，电容C与极距之间为非线性变化关系。 为了有效解决非线性的问题，采用运算法（线性化）电容式测微仪，其原理方块图如图17-2所示： 根据运算线路的原理则有： 其中， --------灵敏系数（当量数） 从图中可以看到，采集到的电压值可以通过12位的A/D转换，并通过USB接口送入计算机进行处理。整个系统的框图如17-3所示。表17-1为电容传感器性能参数。 直径(mm) 示值范围(μm) 分辨力(μm) 线性度(F.S.%) 精度(μm) 安装外径 φ3 ±50 0.01 0.8 0.04 φ8(常用) φ9.8 ±500 0.1 0.9 1 φ28 (二) 电容测微系统 JDC非接触式电容测微仪是由电容传感器、以及组成的所示 图17-4 测试系统实物 电容传感器运算路的原理如图所示。根据反馈放大器原理，当放大器的开环增益和输入阻抗足够大时，放大器的闭环输出为： ——传感器电容的阻抗——固定电容的阻抗 —— 信号源电压把、代入，有 （17-4） 上式中，由于为常量，因此输出电压与传感器两极板间距离为线性关系。 运算式线路的主要特点是： 1 由于输出电压与之间为线性关系，故而从原理上消除了非线性关系所带来的影响，整机的非线性误差小，测量精度高。 2 输出电压与的比值有关，且由于电缆的分布电容可以通过采用“驱动电缆技术”而加以基本消除，因此传感器的电容可以很小，即也可以把测头直径做得很小。9.8JDC型电容传感器 一个 2．微动测量台架 一台 如图17-6为一台装有电容传感器的BCT-1C/5C微动台架。 微动测量台架分1:10(BCT-1C)和1:50(BCT-5C)两种，微动测量台架的微动部分是由两个带有斜面(1:10或1:50)的上、下微动快和微分装置所组成，其用途很广，可以代替块规检定电感比较仪、浮标式气动量仪、扭簧比较仪等仪器，也可以用来测量厚度、高度等参数。 　　　　　　　　规格型号 　技术参数 BCT-5C BCT-1C 刻度值 0.2μm 1μm? 测量范围 0～0.4mm 0～2mm 测量误差 ±0.12～0.2μm??? ±0.5～±3μm??? 装卡孔尺寸 Φ28H7、Φ8H7 重量 8kg 外形尺寸（长×宽×高） 220×55×281mm 其中，电容测微仪的前、后面板示意图如图17-7： (1) LED 显示器，显示的是电压值，单位mv，如果调整得当，可以直接将其读成位移值; (2) 调零电位器，偏差测量时，用于调零; (3) 传感器输入端，被测信号由此输入整机； (4) 电源开关； (5) 电源插座 220伏50HZ的输入端; (6)保险丝;(7) 大地端子（黑接线柱）; (8) 主放大器输出端子（红接线柱）;(9) 动、静态模拟量电压输出（0-10v或-5~+5v）; (10) 12位或16位USB接口或RS232串口与笔记本或计算机通信接口。 4．计算机 一台 5．示波器 一台 6．标准量块 一块 7. 被测介质（薄膜或纸张） 数张 8. 被测液体水