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30 工 具 技 术
纳米 ZrO2 陶瓷的超声振动延性域磨削特性研究
向道辉 ,刘建慧 ,支新涛 ,赵波
河南理工大学
摘要 :本文分析了纳米 ZrO2 陶瓷在普通和超声磨削状态下的裂纹扩展过程及延性去除机理 ;通过对不同磨削
状态的磨削力及 AFM 和 SEM 对表面质量的观察 ,做了在普通和超声磨削状态下的对比试验 ,研究了临界延性磨削
深度对磨削力及表面质量的影响关系 ;基于超声振动磨削过程及磨削力的分析 ,讨论了超声振动增加延性磨削深
度的原因 ,最后通过 AFM 对延性域加工表面形貌的形成机理进行了观察 。研究表明:超声加工能明显提高纳米
ZrO2 陶瓷的临界延性磨削深度 ,振动方向垂直于砂轮线速度方向时 ,其磨削效果要优于振动方向平行于砂轮速度
方向的磨削效果 。通过在延性域范围内磨削 ,超声加工能高效地获得纳米加工表面 ,超精密磨削表面是由不同幅
值多种波形叠加的结果 。
关键词 :超声振动磨削;纳米 ZrO2 陶瓷 ;临界延性磨削深度 n
中图分类号 :TG58 文献标志码 :A c
Study on Ductile Grinding Character of Nano ZrO2 Ceramics using
.
Ultrasonic Vibration Grinding
Xiang Daohui ,Liu Jianhui ,Zhi Xintao ,Zhao Bo
m
Abstract : In this paper the crack extension course and ductile removal mechanics of nano ZrO ceramics were analyzed. On
o 2
the basis of contrast test with or without ultrasonic vibration , the influence of critical ductile grinding depth on grinding forces and
c
surface quality were studied by analyzing the grinding forces in different grinding state and surface quality observed by SEM and
.
AFM. The reason for the increase of the critical grinding depth was discussed based on the analysis of grinding force and ultrasonic
vibration course . At last , the formation mechanics of surface topography observed by AFM in ductile domain was analyzed. The
m
research indicated that ultrasonic machining could increase
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