高品质金刚石膜微波等离子体2D技术的发展现状.pdfVIP

第 卷第 期 中国材料进展 年 月 高品质金刚石膜微波等离子体 技术的发展现状 唐伟忠 于盛旺 范朋伟 李义锋 苏静杰 刘艳青 北京科技大学材料科学与工程学院 北京 摘 要 金刚石膜拥有许多优异的性能 在制备金刚石膜的各种方法之中 高功率微波等离子体 化学气相沉积法因其产生的等离子体密度高 同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性 好 因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法 在世界范围内 美 英 德 日 法等先进国家 均已掌握了以高功率法沉积高品质金刚石膜的技术 但在我国国内 高功率 装备 落后一直是困扰我国高品质金刚石膜制备技术发展的主要障碍 首先综述国际上高功率 装 备和高品质金刚石膜制备技术的发展现状 包括各种高功率 装置的特点 其后 回顾了我 国金刚石膜技术的发展历史 并介绍北京科技大学近年来在发展高功率 装备和高 品质金刚石膜制备技术方面取得的新进展 关键词 金刚石膜沉积技术 高品质金刚石膜 唐伟忠 中图分类号 文献标识码 文献编号 体性能 良好的化学稳定性 极高的抗辐射阈值等 因 前 言 而是众多传统及高技术领域中迫切需要的一种新 由于金刚石膜同时拥有许多优异的性能 如极高的 材料 硬度和弹性模量 极高的室温热导率 相对宽的禁带和 在目前多种可用于制备金刚石膜的方法之中 微波 电磁波透过范围 极佳的介电和绝缘性能 优异的半导 等离子体化学气相沉积法由于其产生的等离 子体密度高 金刚石膜沉积过程的洁净性和可控性好 因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法 在这里 收稿日期 所谓高品质是相对于只强调金刚石膜要有高的机械性能 基金项目 国家自然科学基金 国际科技合作项 目 的传统应用来讲的 笼统地讲 高品质金刚石膜包括早 第一作者 唐伟忠 男 年生 教授 博士生导师 期的所谓热沉级 光学级以及后来的所谓电子级或探测 中国材料进展 第 卷 器级的金刚石膜 其共同特点是其结构完整性高 纯度 世纪 年代末出现了图 所示的石英钟罩式 高 因而其热