高精度干涉仪用激光稳频技术.pdf

高精度干涉仪用激光稳频技术 测试计量技术及仪器专业 研究生钟亮 指导老师周肇飞 激光由于其极好的相干性和亮度，在当代的工业，军事，医疗等领域都有 广泛的应用。在精密计量领域、精密机械和微电子工业中所应用的双频激光干 涉仪，其核心部分之一就是频率稳定的激光器。但是由于温度、振动、气流噪 声的影响，激光频率是不稳定的，因此，激光器输出的频率稳定性就成为了决 定干涉仪精度、分辨力、重复性的重要指标。 本论文针对在线测量需要有强抗干扰能力以及高速测量的需要，采用全新 的双纵模电磁感应涡流加热的方法，使稳频精度提高，抗干扰能力加强。主要 完成了以下工作： 1 对影响干涉仪激光光源频率稳定性的因素进行了分析，并介绍了常见的稳 频方法及产生双频的方法，同时对各种稳频方法的优劣进行了分析。 2 对采用感应涡流加热稳频的可行性进行了分析。对比微波炉这个现代模型， 利用He—Ne激光管采用金属管颈的特点，通过电磁感应加热方式，使激光管腔 长改变，达到稳频目的。 3 设计了相应的测量与控制电路。采用．A’I姬L公司生产的具有精简指令集 可达16硼z。由于其可直接输出16位精度的P雕信号，最高P删信号频率可达 单片机工作频率的1／2，使系统中不用采用单独的P删发生器了，设计电路得到 了简化。 4 对控制方法作了分析，提出了控制算法的结构框图，并对控制参数作了具 体分析计算，采用工业过程控制中应用最广泛的PID控制。控制的原理是先求 出检测到的激光器输出的两个振动方向相互垂直的偏振光的光强差的大小，然 后对光强差的大小处理而获得控制信号去控制电磁感应线圈上输出功率的大 小，从而使激光器谐振腔的长度发生变化，最后使激光器输出的两个振动方向 相互垂直的偏振光的光强相等，以实现稳频。 通过实际测量，采用此方法使激光器输出激光频率稳定度可达10。9，双频 激光频差大于500姗z，具有很高的抗干扰能力，满足了高精度干涉仪要求双纵 模激光光源频差大、光源频率稳定度好、抗干扰能力强的要求。与采用通过控 制激光管放电电流大小进行稳频的方法相比，由于本方法改变的谐振腔部分(激 光管管颈)不被放电管外的玻璃管包围，所以散热条件好，热变形不受约束， 具有响应速度快，抗干扰能力强，频率稳定性好等优点。 关键词：干涉仪热稳频电磁感应单片机PID控制 Ⅱ stabilizationof FrequeIKIy tecl证ques ● ． ^ ． Ⅱ1terterOnleter Major：M鲫'urementb咖lment Technolog)，姐d Zhaofei Post鲈aduate：zhongLi姐gsupervisor：Zhou Becauseofits bri and h硒awide in highg：htnesscoherency，laserapplication medicine．Oneofthehardcoreof l勰er i11dus臼X皿lita巧and dual一丘equency Whichisusedinthefiddof meChanism imef幻rom或ef precisionm昀Sure，precision andmicro·electronics stabilized1淞既Su如cemicrocosmic is舶quency height whichismeaSurc