激光微加工系统研制.pdf

a光微加下系统胡制 摘 要 激光微加工技术作为激光加工技术的一个新兴分支，己被越来越广一泛地应用于精 密机械加工、微机械制造等诸多领域。本文对激光微加工系统中各主要部分的研究和 设计方法进行了全面的讨论，包括激光微加工机的单片机控制器、加工光学系统、PC 机监控软件等三部分。此外，还讨论了激光微加工系统的整体实现和加工控制方式 激光器输出的加工光经过光学系统的后，形成符合微加工精度和能量密度要求的 加工光斑并聚焦于被加工工件的表面。然后，由单片机控制器控制激光器、加工平台 以及辅助系统按照预先设定的加工模式进行加工。在对工件的整个加工过程中，可以 通过显微镜系统对加工过程进行观察。由于采用了视频图象实时采集技术，还可以通 过PC机对加工过程进行监视和存储。 在单片机控制器、光学显微镜系统和PC机监控软件的配合下，本激光微加工系 统实现了一种新的加工控制方式。即通过鼠标在加工区域的实时视频图像丘绘制加工 图样，然后由PC计算机根据此图样自动生成加工控制信息，并通过单片机控制器控 制激光微加工机进行加工。此方式不要求用户事先编写控制程序，提高了系统的实用 性 关键词 (Keywords): 激光微加工 (Lasermicroprocessing) 视频图象采集 (Videoimagecapturing) 单片机 (SingleChipComputer) 高斯光束 (Gaussianbeam) 敖光微加下系统研制 Abstract Lasermicroprocessingisanewbranchoflaserprocessingtechnology.Ithasbeen widelyusedinthefieldsoffinemechanicalsystemandmicromachining Inthisthesis,studiesonthedesignofthelasermicroprocessingsystemiscarriedout, includingitsopticalsystem,controllingsystemandPCmonitorsoftware.Inaddition,the realizationandprocessingmodeofthelasermicroprocessingsystemarealsodiscussed. Anewprocessingcontrolmodeofthelasermicroprocessingsystemisrealizedwiththe helpofsinglechipcomputer,opticalmicroscopeandPCmonitorsoftware. Theprocessingpatternscanbemappedonthevideoimage.Theprocessingcontrol informationisthenautomaticallygenerizedrfomcomputerandtheprocessingprocessis controlledbythesinglechipcomputercontroller 激光微加丁系统研制 第一章 绪论 第一章 绪 论 1.1 引言 1960年随着第一台红宝石激光器的诞生，引发了激光、光电子等新兴学科的兴 起。与此同时，以这些新兴学科为背景的激光、光电子产业也正在蓬勃发展。激光具 有高亮度、高单色性、高相干性、高方向性等四大优点，尤其是它具有极高的功率密 度 可达10'。一，IW/CMI，因而是一种性能优异的加工光源。激光加工和传统的机械加 工方式相比，具有不受加工形状的限制、非接触性加工、无工具磨损、加工变形量小、 加工质量高等诸多优点。90年代初，随着微机械制造技术和微型机电系统MEMS (MicroElectricMechanicalSystem)的研究与应用，激光加工的一个新兴分支，激‘ 光微加工’正在蓬勃地兴起。激光微加工一般是指特征尺寸小于100}tm的加工。激‘ 光微加工’的加工方式主要包括激光束和各向异性蚀刻相结合的激光蚀刻加工、激光 化学辅助加工等。这种加工方法具有较为明显的优越性，可对有机物、晶体、陶瓷和 金属材料实