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第 26 卷 第 6 期 光 学 学 报 Vol . 26 ,No . 6
2006 年 6 月 J une , 2006
A C TA O P TICA SIN ICA
文章编号 :(2006) 0608856
照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响
1 ,2 1 1
郭立萍 王向朝 黄惠杰
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室 , 上海 20 1800
2 中国科学院研究生院 , 北京 100039
摘要 : 研究了照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响 。通过 PROL IT H 软件计算了环形与四极照明条件下 ,
光瞳非对称性对图形位置偏移量 、曝光图形内水平线条与垂直线条的宽度差 、曝光图形上密集线条与孤立线条之
间线宽偏差的影响 。研究结果表明 ,光瞳非对称性主要影响曝光图形的位置偏移量 ,光瞳非对称性引起的图形位
置偏移量与光瞳非对称性的大小成线性关系 。根据套刻精度的误差分配原则 ,计算得到光瞳非对称性的容限为
5 % 。
关键词 : 仪器 ;光刻 ; 光刻仿真 ; 离轴照明; 光瞳非对称性
中图分类号 : TN 350 . 7 文献标识码 : A
I mp a ct of I l l u m i n a t i o n P up i l F i l l i n g U n b a l a n ce o n I m a gi n g
P e r f o r m a n ce of L i t h o g r ap h y
Guo L ip in g1 ,2 Wan g Xian gzhao1 Huan g Huij ie 1
1 I n f or m a t i on Op t ics L abor a t or y , Sh a n gh a i I n st i t u t e of Op t ics a n d Fi n e Mech a n ics ,
The Chi n ese Aca dem y of Scie n ces , Sh a n gh a i 20 1800
2 Gr a d u a t e Sch ool of t he Ch i n ese Aca de m y of Scie n ces , Beij i n g 100039
A bs t r a ct : The imp act s of p up il fillin g unbalance on image CD p lacement er r or , HV bias ( t he size diff er ence
bet w een t he ver tical lines and t he horizont al lines) and ID bias (t he size diff er ence bet w een t he isolat ed lines and t he
dense lines) ar e calculat ed using soft w ar e PROL I TH under annular and quar dup ole illumination set tings
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