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第 卷第 期 功能材料与器件学报
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年 月
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文章编号! ##$ % ’(’ ) ’##( * #’ % #’#’ % #(
喷雾热分解法制备 · 薄膜与导电性能研究
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赵 鹏 郝喜红 许启明 姚燕燕 田晓珍
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（西安建筑科技大学材料科学与工程学院，西安$ ##(( ）
摘要：以 · 和 为原料，采用喷雾热分解的方法在片状日用玻璃基材和石英玻璃基
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（ ） （ ）
材上制得了掺氟氧化锡透明导电薄膜。采用 射线衍射仪 和扫描电镜 分别对薄膜
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的内部结构和表面形貌进行了表征。研究了G % 的掺杂量、喷涂温度、沉积时间和热处理对薄膜方
阻 的影响。实验结果表明，当U .W V U · V 、成膜温度为 、喷涂时间
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为 时，可使所得薄膜的方阻 达最低，为 。
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关键词：掺氟二氧化锡薄膜 喷雾热分解 制备 导电性能
- - -
中图分类号： 文献标识码
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