用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征.pdfVIP

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2017-09-16 发布于重庆
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用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征.pdf

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38 10 Vol. 38, No . 10 2011 10 CHINESE JOURNAL OF LASERS October, 2011 用于ArF 准分子激光器的CaF2 衬底性能的实验表征邓文渊金春水靳京城 ( , 130033) ArF CaF CaF 2 2 , CaF , ( AFM) ( WLI) 2 CaF , ( PSD) , CaF 2 2 5 mm CaF 922 10- 6 AFM WLI 2 CaF 0. 22 1. 24 m, 0. 005% 0. 25% 2 ( UV) CaF Ce3+ CaF 2 2 , CaF , 2 , CaF 2 ; ArF ; CaF ; ; ; 2 O734 A doi: 10. 3788/ CJL201138. 1002004 Characterization of CaF2 Substrates for ArF Excimer L aser Deng WenyuanJin C uns uiJin Jingc eng ( State Key Laborat ory of Applied Optics , Cha gchu I st itu te of Optics , Fi e Mecha ics a d Physics , Chi ese Academ y of Scie ces , Cha gchu , J ili 130033, Chi a ) Abstract Experimental c aracterizations of t e CaF substrates for applications of ArF excimer lasers are