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第10卷第l期 材料科学与工艺 voLl0Nnl
200 MATERIALSSCIENCE&TECHNOLOGYM盯.2002
2年3月
氮化镓微米晶须及纳米线的制备与研究
周江峰1,王建朝1,李昌义2,潘华勇1,冯孙齐1,俞大鹏2
(1北京大学介观物理国家重点实验室.北京100871;2.中国科学院北京半导体研究所.北京100083)
摘要:报道了利用CVD方法大量制备超纯氮化镓微米晶须及纳米线的最新结果利用镍、铟及其化台物等做
催化剂.将金属镓放置在氨气氛中1000℃左右进行反应.结果在衬底上获得了大量的氮化镓微米晶须。及纳米
线.许多晶须还通过自组装形成了非常奇特的如梯子状的形貌研究还发现.大部分氮化镓微米晶须的择优生长
方向为0001方向(c轴方向)x射线衍射谱揭示.反应产物为非常纯的氮化镓晶体,而低温光致发光谱分析则
发现,氮化镓微米晶须在520nrn处有一个杂质发光峰这一研究结果有助于了解氮化镓晶体的生长机理。并可
望应用于微米、纳米蓝光发光二极管等器件.
关键词:氮化镓;晶须;半导体纳米线;蓝光发光二极管
中图分类号:TB383文献标识码:A 文章编号:1005-0299(2002)01-0011加3
and micronsizedGaN
Synthesis of whiskersandnanowires
investigation
ZHUO
Jiang-fenF,WANGJian-cha01,LIChang-yi2,PANHua-yon#,FENGSun-qil,YUDa-pen92
National ofSemiconductors
(1.MesoseopicPhysics Laboratory,BeijingUniversity,B刨ing100871,China;2NLSM,Institute
Chinese of
AcademySciences,100083Beijing.China)
Abstract:The and ofmicro-sizedGaNwhiskersandNanowil3esviaa
synthesis
large.tale investigation
CVD was as Gawas ina tube
Ni,In,I州呱andInCh
approachreportedUsing catalysts,metallicplaced
fumacetoreactwithN}kataboutl000屯.andamountofmicronsizedGaNwhiskersandna/lowires
large
werefbund onthesubstrate. whiskersself-assembledinto as
sucha
grown Many verypeculiarmorphology
laden diffractionshowedthatthe consistsof GaN.whilelow—
structure.X-ray product verypure
crystalline
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