实验3电镜的结构、原理及其操作使用.pdfVIP

实验 3 扫描电镜的结构、原理及其操作使用 一、实验 目的 1.了解扫描电镜的工作原理及构造。 2.初步学习 Sirion200 场发射扫描电镜的操作方法。 3.利用二次电子像对断口形貌进行观察。 二、扫描电镜的构造 扫描电子显微镜 （简称扫描电镜）是目前较先进的一种大型精密分析仪器，它在材料科 院 学 程 学、地质、石油、矿物、半导体及集成电路等方面得到了广泛的应用。其优点是：①景深长、 工 与 图像富有立体感；②图像的放大倍率可在大范围内连续改变，而且分辨率高；③样品制备方 学 科 法简单，可动范围大，便于观察；④样品的辐照损伤及污染程度较小；⑤可实现多功能分析。 料 材 院 图 1 是 Sirion 200 扫描电镜外观照片，其构造可以借助图 2 来说明。它由四部分构成：1. 电 学 学 大 程 子光学系统，包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等；2. 机械系统，包括支撑部分、样品室 南 工 中 （可同时或分别装置各种样品台、检测器及其它附属装置）；3. 真空系统；4. 样品所产生信 与 学 号的收集、处理和显示系统。 科 料 材 学 院 大 学 南 程 中 工 与 学 科 料 材 学 大 南 中 图 1 Sirion 200 扫描电镜外观照片 1．电子光学系统 这个系统包括电子枪、电磁聚光镜、扫描线圈及光阑组件。 （1）电子枪 为了获得较高的信号强度和扫描像，由电子枪发射的扫描电子束应具有 较高的亮度和尽可能小的束斑直径。常用的电子枪有三种：普通热阴极三极电子枪、六硼化 镧阴极电子枪