用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 =’ %$$= ， ， ， K43 )=’ J4 ) LM85 %$$= （ ） #$$$/(%$C%$$=C=’ $ C%’=/$* ,@E, +FGHI@, HIJI@, %$$= @728 ) +7ND ) H46 ) 用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析! ! 陈献忠 姚汉民 陈旭南 （中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，成都 #$%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$’ # (# %$$’ ($ 用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦，可以降低原子光刻试验的难度 用蒙特卡罗算法 ) 和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响，结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散 角和原子的纵向速度分布) 提出几种改进试验的方法) 关键词：完全非共振激光驻波场，原子聚焦，纳米结构制作 ： ， !## (%*$ (%*$+ 与初始位置之间的关系，基于48?5/@1A34 算法和轨 # 引 言 迹模拟法研究原子源对基底上原子堆积图形的影响 规律，提出改善图形质量的几种方法) 原子光学在过去的二十余年中得到了广泛深入 地研究，原子激光的出现和玻色 爱因斯坦凝聚的实 / % 基本原理 现表明这一领域在理论探讨和试验手段上已经成 ［，］ 熟# % ) 原子光刻是原子光学在纳米加工技术领域 完全非共振条件下制作纳米结构的原理如图# 的新应用，具有分辨力高、不受电荷影响、可并行制 所示 由于电阻加热法很难直接蒸发难熔金属材 ) ［— ］ 作等优点( = ，引起人们的极大兴趣，目前有许多试 料，并且加热子与膜料直接接触，易造成膜层污染， ［，— ］ 验室在开展这方面的研究( * ) 然而用光场操纵 而采用激光蒸发方法产生原子可解决这些问题) 纳 原子沉积来制作纳米结构对试验条件的要求很高， 秒脉冲激光器发出的激光束经缩束后在靶上的光斑 直径为 ，定义为靶的有效尺寸，高能脉冲激光轰 迄今为止仅有碱金属原子、铬原子、铝原子和镱原 !5 ［］ ［ ， ］ 子 等少数原子被实现纳米量级聚焦的报