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段利华：熔石英在 3 ω激光下输入输出面的阈值分析 383 熔石英在3 ω激光下输入输出面的阈值分析 ∗ 段利华 (成都精密光学工程研究中心，四川 成都 6 10041) 摘 要：在紫外激光条件下对熔石英样品输入输出面 EM500 大能量探头能量计测量，其精度为 0.01 。损 进行了损伤阈值测试，测试结果表明熔石英样品输入 伤阈值测量光路如图 1 所示。 面损伤阈值是输出面的 1.25 倍。其损伤形貌基本表 现为小麻孔聚集和烧蚀疤痕，表明其损伤由激光驻波 场和烧蚀共同引起，并用激光压力模型对其损伤机理 进行了分析。 关键词：熔石英；3 ω激光；损伤阈值 中图分类号：TN204 文献标识码：A 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊-0383-03 图1 测量光路图 1 引 言 Fig 1 Experiment layout for measuring laser damage threshold 大功率激光器在材料，光电及军工等方面有广阔 测试点处激光光斑大小用刀口法测量。损伤阈值 的应用前景[1~4] ，而激光器对光学元件的破坏是限制 测量采用 1-on-1 方式，即光学元件的一个点上只辐照 激光向高功率、高能量方向发展的“瓶颈”，也是影 一次。为避免因激光预处理带来的影响，辐照点横向 响高功率激光元件使用寿命的主要原因。如何提高光 相邻间距为 2mm ，纵向为 3mm 。样品表面照射点的 学元件的激光破坏阈值 已经成为激光系统的重大课 损伤先由等离子体闪光判断，再由 100 倍 Normaski 题。长期以来，人们对光学元件的抗激光损伤主要集 显微镜观察确定，任何可观察到的样品表面永久性改 中在输入面的研究，而忽视了输出面的影响。 变即为激光诱导损伤。本实验损伤阈值的表征采用国 熔石英玻璃是非常有用的光学材料，它有优 良的 际标准 ISO11254 使用的零概率损伤阈值。即激光能 光学，热学性能和化学稳定性，可以做各种光学元件， 量密度等于或小于此值时，不发生激光诱导损伤；大 在光学和激光系统中有广泛的应用。其优良的透光性 于此值时，则发生一定概率的损伤。本实验采用的熔 是紫外和中红外理想的窗口材料。近年来有关熔石英 石 英样品 ，前后表面均被 高质量抛光 。规格为 激光诱导损伤的研究有过不少报道[5,6] ，主要是研究 Φ45mm×8mm ，在 355nm 波长的情况下，取熔石英的 它在短波长 （351nm ）激光诱导损伤方面的工作。本 折射率 n 为 1.475 。 文对熔石英在 3ω（355nm ）激光条件下输入输出面的 激光诱导损伤进行