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微机械惯性测量装置及其在导航中的应用 张洪钺 教授 北京航空航天大学自动化学院测控系 2002年5月30日 国内外微机械惯性传感器的发展概况 大规模集成电路加工技术可用于微机械系统的加工 对硅基片、石英晶片或铌酸锂片进行微级加工可实现微细精密机械结构。 常用半导体材料——硅 本征电阻率高；在高温蒸汽中表面易氧化，形成具有化学惰性和电绝缘性的SiO2薄膜； 硅提纯方便，价格便宜； 已可加工微型阀门、弹簧、喷嘴等．还可生产力传感器、压力传感器，惯性传感器和马达等复杂元件 国际微机械传感器的研制情况 微机械陀螺：静电、电磁、压电激励，电容、压阻检测 微机械加速度计：应变式、电容式、谐振梁式 Draper实验室研制微型振动陀螺与微型硅加速度计组成的微型IMU。 BEI公司的微型数字石英陀螺已被Honeywell司用于AV一SB“鹞”式飞机飞控系统。 微机械惯性传感器及系统精度相对较低，但成本低、体积小，抗冲击性强 众多应用领域 军事应用中 在汽车领域 在医学界 微机电系统是未来制造业的一种基本方法。 在航空航天领域中的应用 1. 减轻导线、敏感元件和驱动部件的重量。 2. 微型加速度计和微型陀螺仪，可组成惯性测量或制导系统 微陀螺仪应用中的问题：陀螺漂移产生虚假输出 与GPS等其它导航系统组合，形成重量轻、体积小、成本低、可靠性高的导航与定位系统。 微机电系统的主要优点 尺寸很小，重量轻，与大部件相比，具有更好的刚性、更高的谐振频率和带宽及其它较优越的性能，也更容易固定。 可重复性好。 将微电子线路和机械系统紧密地联系在一起形成完整的单一系统。 国内的研究状况 微机电系统的发展刚开始，发展为惯性器件作为重点。 从1995开始，清华大学研制出微型陀螺仪和微型加速度计的原理样机。 北航在压力微传感器的研制方面开展了大量工作。 其它高校和科研单位单位开展了这方面的研究工作。 微机械加速度计性能和工作原理 工作机理：应变式、电容式和谐振梁式 工作方式：开环、闭环 应变式加速度计 开环工作方式 美斯坦福大学的产品 通过压阻效应来敏感摆片在 受到加速度时其支承弯曲应 变的原理来测量加速度。 电容式加速度计 闭环工作方式 结构形式：扭摆式、悬臂式 工作原理：带有惯性质量的摆片因受到加速度发生位置偏转，摆片所带的电容极板的位移使电容值发生变化，采用交流电桥测量出电容量变化，经再平衡电路反馈电压给静电力矩器以产生静电力，使摆片保持在零位附近。 谐振梁式加速度计 通过测量联接惯性质量和壳体基座谐振梁的频率变化来测量加速度的。 优点：低成本、高可靠性和高温度稳定性。 微机械加速度计的试制情况 采用体加工方法，研制成功μg级的高精度微机械加速度计。 玻璃—硅—玻璃或硅—硅—硅“三明治’。 微机械陀螺仪性能和工作原理 80年代后期才发展起来的一种新型陀螺 工作原理： 敏感元件（质量块或质量片）在激励模态下振动，沿垂直于振动方向的对称轴施加输入角速度，在哥氏力的作用下，质量块将在三维空间的另一方向上以敏感模态同频率振动，幅度与输入角速度大小成正比。 由于激励与检测方法不同，所以出现了不同的结构。 静电激励、电容检测方式 振动方式：角振动式、线振动式 框架式角振动陀螺：Draper实验室于1988年研制 没有高速旋转的陀螺转子，而是绕挠性枢轴高频率振动的部件 漂移不定性为5000／h，适用于短时间导航。 音叉式线振动陀螺仪：1993.5 Draper实验室研制成功。 采用单晶硅梳状结构产生静电力驱动音叉 双层结构 电磁激励、电容检测方式 音叉式线振动陀螺：1994，日本东北大学研制 电磁激励，省去难加工的梳齿结构 玻璃—硅—玻璃三层结构 ，图中为硅层结构 长和宽均约20mm，硅层厚度200μm，两层玻璃厚度均为 250μm。 压电激励，电容检测方式 谐振棒式线振动陀螺 线性度好，结构简单，易于批量生产。 由于陀螺本身的结构设计对加速度很 敏感，所以精度并不比其它陀螺高 电磁激励，压阻检测方式 微机械陀螺总结 提高微机械陀螺的性能 在结构工艺，驱动技术和信号检测等方面进行改进 进行误差补偿 通过对微机械陀螺的误差进行建模，来实现误差补偿 。 精确建模和误差补偿将使微机械陀螺的性能进一步提高。 微惯性测量组合（MIMU） 1994，Draper实验室研制MIMU 构成：三只微机械陀螺仪和三只微机械加速度计，在立方体的三个正交平面上。 MIMU最终尺寸为2cm x 2cm x 0.5cm，重约5g。 电子线路的所有功能模块集成在一块硅片上。 较成熟实用的系统方案：每一个惯性仪表都配备自己的专用集成电路并产生相应的输出，