陶瓷基体激光划线的改进方法.pdfVIP

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陶瓷基体激光划线的改进方法 铝氮化物样本通过改进方法划线。与其它划线方法相比 ,发生的表面破裂较少。 PTG针对玻璃嵌板的零宽度激光切割技术™--(ZWLCT™)专利现 应用于陶瓷基体划线。 这对于激光陶瓷划线技术是重大的改进。 其结果在如下页中说明。 专利信息 国家 应用# 专利# 澳大利亚 674677 加拿大 2155946 欧洲 0633867 日本 3027768 韩国 703463/94 俄罗斯 美国 5609284 针对氧化铝陶瓷的 激光交互特性及其影响 二氧化碳CO2 光纤 特性/影响 10.6µm 1.064µm 最小影响临界值, F 12.36 J cm-2 73.89 J cm-2 τ 吸收长度, 1/α 303 ±23µm 106±7µm 热应力, γ 397.92 J cm-3 6.65 kJ cm-3 吸收系数, α 33.16 cm- 1 90.11 cm- 1 0.87% (2.8 kW) 0.72% (2.5kW) 融解池传播速度, Vm/s 0.73% (2.2 kW) 0.47% (1.6kW) 激光划线如何工作 聚焦光学器件 连接板厚度 脉冲 激光束 陶瓷 工作台行程方向 (进给比) 碎片形成 锥形孔

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