光学薄膜样品的温度场和形变场分析.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 +’ # $$, # ， ， ， CDE (+’ BD (# F569 $$, （ ） !$$$:%$;$$,;+’ $# ;$:$, =/= .?@1A= 1ABA= !$$, G36 ( .GH8 ( 1DI ( !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 光学薄膜样品的温度场和形变场分析 ）） ） 刘明强! 李斌成! !）（中国科学院光电技术研究所，成都 #!$$% ） ）（中国科学院研究生院，北京 !$$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$’ !$ ! $$’ ! !$ 通过积分变换理论上求解了光学薄膜样品在脉冲或方波调制激励光作用下的热传导方程和热弹方程，从而获 得了样品在瞬态和稳态情况下对应的温度场和形变场 为验证所求解，将理论解析解的计算机模拟结果与有限元 ( 的分析结果在时域和空间域进行了比较，两结果获得了较好的一致性；同时讨论了温度，热变形随激励光的调制频 率、光斑半径等参数的变化( 讨论了此模型在测量光学薄膜样品吸收损耗和表面热变形中的应用( 关键词：温度场，形变场，表面热透镜，有限元 ： ， ， ， !## !!!$) #$* #+’$ ’,#+ 膜元件的光学和热物理性质具有重要意义( !- 引 言 本文从热传导方程和热弹方程出发，求解了完 整的温度场和形变场，并将理论的模拟结果和有限 当一束激光照射到一光学薄膜样品时，薄膜吸 元结果进行了比较，讨论了时域和空间域的分布，以 收激光能量，由于热传导，在样品内部形成温度梯 及激励光调制频率（频域）和光斑半径对温度和热变 度，从而产生表面热变形( 若激光被调制，那么温度 形的影响( 最后讨论了用表面热透镜技术同时测量 和表面形变将由交流和直流两部分组成( 从该温度 光学样品的微弱吸收和微弱形变的原理和方法( 和热变形出发，研究高功率密度激光束作用下光学 薄膜元件的吸收和损伤性能，以及分析热变形对入 - 理论模型 射激光波面的影响是高功率激光和薄膜技术中的重 要内容( 考虑方波调制的平顶光束（由于平顶光束易于 因此，有必要寻求一种理论以及一种测量方法 获得以及在光热技术中比高斯光束具有更高的灵敏 ［， ， ］ 同时对光学样品的吸收率和表面热变形（包括交流 度, !$ !! ，且许多高功率激光器的光强分布也近似为