用卢瑟福背散射沟道技术研究’异质结的弹性应变.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’’ ( #$$( ( ， ， ， IB 1’’ 2B 1( TF+G #$$( （ ） !$$$75#.$)#$$()’’ $( )#%.#7$’ NJON PQRS9JN S929JN !#$$( JU=+ 1 PUA? 1 SBH 1 用卢瑟福背散射 沟道技术研究 ! #$! #% ’ ()% * $! #$ 异质结的弹性应变! ） ） ） ） ） ） ） ! ! ! ! # # # 王 坤 姚淑德 侯利娜 丁志博 袁洪涛 杜小龙 薛其坤 !）（北京大学物理学院，北京 !$$%!） # ）（中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室，北京 !$$$%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$$’ % #$$’ !# ( 利用卢瑟福背散射 沟道技术对射频等离子体辅助分子束外延法生长在蓝宝石衬底上的 ) *+,)*+ /0 ,)*+, $ -. $ - ! 异质结进行了组分分析，并得到了异质结弹性应变随深度的变化，应变由界面向表面逐渐释放，并由负变正，且在 与 界面处轻微增大 负的应变是由于 与衬底的晶格失配和热失配，而逐渐变为正值是 *+, *+ /0 , 1 *+, *+ $ -. $ - ! $ -. /0 , 与*+, 的晶格常数差异及弹性应变的逐渐释放所致1 $ - ! 关键词：异质结，卢瑟福背散射 沟道，弹性应变， ) *+/0, ： ， ， ， +,-- (%’’ .#$2 (%!$3 !’’4 了在蓝宝石衬底上制备的*+,)*+$ -. /0$ - ! ,)*+, 异质 !- 引 言 结的应变深度分布特点及其机理，揭示了氧化镁缓