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ICS31.020
I.95
备案号:700-1997
JJ
中华人 民共和 国电子行业.标准
SJ/T 11131一1997
蒸发镀膜设备基本参数系列
Basicparameterseriesof
evaporationplatingequipment
1997-09-03发布 1998-01-01实施
中华人民共和国电子工业部 发布
前 言
本标准是SJ1098-77高《真空蒸发设备参数系列》,SJ1099-77(超高真空蒸发设备参数
系列》合并的修订版。
本版本对前版两项标准的重要技术内容改变如下:
改变了标准名称;
根据蒸发镀膜设备的
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