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第 29 卷 第 12 期 华 中 科 技 大 学 学 报 Vol. 29 No. 12
2001 年 12 月 J . Huazhong Univ. of Sci. Tech. Dec. 2001
数控机床补偿误差的激光干涉仪识别技术
张 虎 周云飞 陈吉红 师汉民
( )
华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心
摘要 : 提出了基于数控机床的空间误差模型, 用激光干涉仪测量机床工作空间中的对角线位移误差来识别机
床空间误差的方法, 解决了机床垂直轴 roll 误差的测量难题. 结果表明所提出的方法测量精度高 ,缩短了测量
时间 ,减少了对光学器件的需求量.
关 键 词 : 数控机床 ; 空间误差 ; 激光干涉仪 ; 误差测量
( )
中图分类号 : TG659 ; TP202 文献标识码 : A 文章编号 : 2001
′ ′
P 和 P . P 和 P 之间的名义距离 L = [ ( x -
0 i 0 i i i
1 机床的空间误差模型
机床的空间误差模型和具体的结构有关. 以
三轴机床为例 ,如图 1 所示的加工中心 ,其结构
形式为 XYFZ 型 ,这里 , F 表示床身 , F 前的符号
表示工件相对床身的运动方向 , F 后的符号表示
图 2 名义位置与实际位置
2 2 2 1/ 2 ′
x 0) + ( y i - y 0) + ( z i - z 0) ] , 实际距离 L i =
′ ′ 2 ′ ′ 2 ′ ′ 2 1/ 2
[ ( x i - x 0) + ( y i - y 0) + ( z i - z 0) ] , 从激光
干涉仪测量得出的这两个距离的差
′ ′ ′ 2 ′
Δ ( ) (
L i
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