CMOSMEMS技术的现状及展望.pdfVIP

维普资讯 第26卷第4期 压 电 与 声 光 V01．26No．4 2004年8月 PIEZOELECTRICSACOUSTOOPTICS Aug．2004 文章编号：1004—2474(2004)04—0276—04 CMOSMEMS技术的现状及展望 胡 明，崔 梦，田 斌，窦燕巍 (天津大学 电子信息工程学院，天津 300072) 摘 要：简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位。主要介绍了pre—CMOS，interme— diate—CMOS和post—CMOS三种不同的CMOSMEMS工艺。详细讨论了CMOSMEMS今后将面临的挑战及其未 来应用领域，最后，根据国内情况对我国CMOSMEMS的发展提出了建议。 关键词：CMOSMEMS技术；发展趋势；现状 中图分类号：TN402 文献标识码：A PresentStatusandFutureofCM OSMEM STechnology HU M ing，CUIM eng，TIAN Bin，DOU Yan—wei (SchoolofElectronicInformationEngineering，TianjinUniversity，Tianjin300072·China) Abstract：DevelopmentofMEMSandtheimportantpositionofCMOStechnologyinMEMSareintroduced． ThreedifferentCMOSMEMSfabricationapproaches，pre—CMOS，intermediate—CMOSandpost—CMOS，arein— troducedemphaticallyandexamplesaregiven．Discussingkeychallengesandfutureapplication field forCMOS MEMS indetail．Finally，basedonthepresentsituation inourcountry，someideasaboutdevelopmentofCMOS MEMS inChinaareputforward． Keywords：CMOSMEMStechnology；developmenttrend；presentstatus 之一。由于MEMS的目标是制成高集成、高稳定的 1 引言 智能微系统，因此 ，具有工艺成熟，集成度高等优点 微电子机械系统 (MEMS)是在集成电路工艺 的CMOS技术从众多制造MEMS的技术中脱颖而 的基础上发展起来多学科交叉的新型学科，涉及微 出，形成了以标准CMOS技术为基础的较为成熟的 电子学、机械学、力学、自动控制学、材料学等多种工 CMOSMEMS技 术。本 文将 重 点介 绍 CMOS 程技术和学科 。完整的MEMS是 由微传感器、微执 MEMS的制造技术及其发展趋势。 行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等组成 2 CMOS技术在MEMS中的地位 的一体化微型器件系统。其 目的是把信息的获取、处 理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统， MEMS是 IC技术和微机械制造技术相结合的 完成大尺寸机 电系统所不能完成的任务，嵌入大尺 产物。IC技术主要用于制作MEMS中的信号处理 寸系统中可大幅度提高系统的 自动化、智能化和可