GB/T 14140.2-1993硅片直径测量方法　千分尺法.pdf

中华人民共和国国家标准 硅片直径测量方法 千分尺法 一主题内容与适用范围 本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法 本标准适用于测量圆形硅片的直径 测量范围为本标准不适用于测量硅片的不圆度 本标准不作为仲裁测量方法。 引用标准 逐批检查计数抽样程序及抽样表适用于连续批的检查 硅单晶 工具 千分尺测量范围为 精度为。 试验样品 门 从一批硅片中按计数抽样方案或商定的方案抽取试样 测且步骤 门 测量在士℃下进行。千分尺测量杆端面应洁净 按硅片的导电类型确定要测量的三条直径的位置,见图。硅片参考面位置应符合的规 定 门 对于 和 硅片,要测量的三条直径是平行于主参考面的直径和与该直径成 的另二条直径 对于 硅片,第一条直径位于主、副参考面的中间第二条直径垂直于第一条直径,第三条 直径与第二条直径成角。 对于 硅片,第一条直径平行于主参考面,第二条直径与第一条直径成角,第三条直径 与第二条直径也成。角校正千分尺零点。 旋出测量杆,放入被测硅片,使待测直径处于测量位置。 旋进测量杆到终止位置。 记录千分尺的读数,取下硅片。 重复 条测量步骤,直至测完三条直径 国家技术监督局 一 一 批准 一 一 实施 『冈 图 各类试样直径的测量位置 测量结果计算 硅片直径的平均值 按下式计算 刀一硅片直径的测量值。 式中 精密度 木方法多个实验室测量二倍标准偏差为士试验报告 ,试验报告应包括以下内容 ‘ 硅片批号