GB/T 14140-2009硅片直径测量方法.pdf

犐犆犛２９．０４５ 犎 ８２ 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜１４１４０ ２００９ 代替 ／ — ， ／ — ＧＢＴ１４１４０．１ １９９３ＧＢＴ１４１４０．２ １９９３ 硅片直径测量方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀 犱犻犪犿犲狋犲狉狅犳狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉狑犪犳犲狉 犵 ２００９１０３０发布 ２０１００６０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜１４１４０ ２００９ 前 言 　　 本标准代替 ／ 《硅片直径测量法 光学投影法》和 ／ 《硅片直径测量法 ＧＢＴ１４１４０．１ ＧＢＴ１４１４０．２ 　　 　 　 千分尺法》。 本标准与 ／ 和 ／ 相比，主要有如下变化： ＧＢＴ１４１４０．１ ＧＢＴ１４１４０．２ ———可测量最大直径的范围增加到 ３００ｍｍ； ———删除了引用标准 ＧＢ１２９６２《硅单晶》； ———增加了引用标准 ／ 《硅单晶抛光片》； ＧＢＴ１２９６４ ———增加了引用标准 ／ 《几何量技术规范（ ）长度标准 量块》； ＧＢＴ６０９３ ＧＰＳ 　 ———增加了术语、意义用途、干扰因素； ———修改了直径模型的部分内容； ———光学投影法参照 ＡＳＴＭ Ｆ６１３９３《半导体晶片直径的标准测试方法》进行了修订。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ ／ ）提出。 ＳＡＣＴＣ２０３ 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司。 本标准主要起草人：刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——— ／ — 、 ／ — 。 ＧＢＴ１４１４０．１ １９９３ＧＢＴ１４１４０．２ １９９３ Ⅰ