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西北大学学报( 自然科学网络版) 2012 年7 月，第10 卷，第4 期
Science Journal of Northwest University Online Jul. 2012 ，Vol.10 ，No.4
硅基多孔阳极氧化铝膜研究进展
李 丹，乔奇巍，吴俊俊，张 辰，王凯歌，胡晓云，白晋涛
(西北大学光子学与光子技术研究所/ 陕西省光电技术与功能材料省部共建国家重点实验室培育基地/ 国家级光电技术与功能
材料及应用国际科技合作基地，陕西 西安 710069)
摘 要：简要地叙述了硅基PAA 膜的结构、特点、应用以及目前的发展现状。认为硅基多孔阳极
氧化铝（PAA ）薄膜因与物化性能良好的硅基底相结合，不仅避免了PAA 膜易破裂、损坏等缺点，
而且在制备生化传感器等纳米器件方面具有广泛的实际应用前景。
关 键 词：硅基多孔阳极氧化铝，结构，应用，发展现状
中图分类号：TQ153.6 文献标识码：A 文章编号：1000-274X(2012)0509-08
Research review of silicon-based porous anodic alumina
membranes
LI Dan, QIAO Qi-wei, WU Jun-jun, ZHANG Chen, WANG Kai-ge, HU Xiao-yun,
BAI Jin-tao
(Institute of Photonics and Photonic Technology of Northwest University/National Key Laboratory of photoelectric technology and
Functional materials/National photoelectric technology and Functional Materials Application of Science and Technology
International Cooperation Base, Xi’an 710069, China)
Abstract: Due to the combination of good physical and chemical properties of silicon, silicon-based porous
anodic alumina (PAA) films can not only avoid the shortcomings of the PAA films, such as being easily broken,
damaged, etc, but also have a wide range of practical application prospects in preparation biochemical sensors and
other nanoscale devices. In this paper the structure, characteristics, applications, and the current development of
the silicon-based PAA membrane are briefly summarized.
Keywords: silicon-based porous anodic alumina, structure, application, development status
纳米材料具有独特的尺寸、结构特点，在光学、电学、磁学、催化等、以及半导体纳米材料、纳米复
合材料和纳米器件等领域具有广阔的应用前景。目前制备纳米材料普遍使用的之一是模板辅助法，其中，
多孔阳极氧化铝（PAA ）模板是最常用的模板，通过控制工作条件可以控制PAA 模板的空间形貌结构、进
而控制所制备的纳米材料的尺寸与形貌，从而获取具有独特性子的纳米材料。在硅基底上通过镀铝膜来制
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