TiO薄膜氧敏元件的研究与发展.pdfVIP

技 术 综 述 Technology Review TiO 薄膜氧敏元件 2 的研究与发展 田立强 潘国峰 赵彦晓 王静 孙以材□ 摘要：综述了TiO氧敏传感器的发展概况、氧敏机理，并对以不同方法制 2 一、引言 备的 TiO氧敏器件性能进行了比较，分析了如何提高氧传感器的性能， 2 TiO 氧敏材料由于其工 2 并对TiO氧敏传感器今后的发展和研究提出了几点建议。 2 作温度低、性能好、制备简单等 关键词：氧敏传感器、薄膜、TiO、制备方法、发展 2 [1] 优点 使得它在汽车尾气检测、 文章编号：1006-883X（2002）07-0007-04文献标识码：A 食品保鲜，以及工业炉燃烧气氛 生产成本低，并有耐铅中毒的能 的市场。 的控制和空气净化方面有着越 力，因而广泛用于汽车上。 如今，TiO 可用作多种传感 来越广泛的应用，TiO 已成为近 2 2 [4] 在TiO 之前，最早的氧敏传 器材料，既可作为湿敏 和压敏 年来人们研究和应用中最为广 2 [5] 泛的氧敏材料之一。 感器是 ZrO2 电解质传感器，在 元件 ，也可用于检测多种气体， 1977 年由日本丰田汽车公司应 例如H 、CO[2]和O [6,7] ，特别是 TiO 具 有 金 红 石 2 2 2 用于汽车尾气中的有害气体检 用作汽车尾气传感器。通过测定 （Rutile ）、锐钛矿（Anatase ）和 [3] 汽车尾气中氧气的含量，可以控 测 ，但由于存在着烧结温度高、 板钛矿（Brookite ）三种晶体结 结构复杂、贵金属催化剂易失 制和减少汽车尾气中的碳氢化 构，其中金红石结构是最为稳定 效，价格昂贵等缺点，使其发展 合物及一氧化碳、氧化氮（NO ） 的晶型，不但具有最为稳定的物 x